[發明專利]一種激光沖擊輔助微機電器件拆卸的方法

無效

• 申請號: 201210064339.9
• 申請日: 2012-03-13
• 公開（公告）號: CN102528379A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發明（設計）人: 魯金忠;鐘金杉;羅開玉;張磊;王慶偉;戴峰澤;齊晗;羅密
• 申請（專利權）人: 江蘇大學
• 主分類號: B23P11/00
• 分類號: B23P11/00;B81C1/00
• 代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司 32200
• 代理人: 樓高潮

1.一種激光沖擊輔助微機電器件拆卸的方法，包括如下步驟：

(1)?首先用酒精或丙酮清洗微機電器件表面；

(2)?把吸收層預涂到微機電器件表面，所述吸收層厚度為0.1-0.15?mm；

(3)?利用吸收層的粘性把微機電系統粘附到金屬玻璃表面，吸收層的粘接強度大于激光沖擊微機電器件背面產生的壓力，使未被激光沖擊的微機電器件不會從玻璃表面脫落；金屬玻璃作為承載微機電器件的載體及激光沖擊的約束層，應具有足夠的強度不至被激光沖擊波產生的瞬時高壓沖破；

(4)?將載有微機電系統的金屬玻璃定位于回收箱頂端，并且采用固定夾具將微機電器件與金屬玻璃固定，使得激光沖擊過程中微機電器件部分與金屬玻璃不分離；

(5)?將激光束對準需要拆卸的微機電器件的背面，發射高能短脈沖激光沖擊涂有吸收層的的微機電器件背面，在沖擊過程中可采用單束或者多束激光同時沖擊要拆除的微機電器件背面，使得沖擊區域小于要拆除的微機電器件背面的面積；

(6)?利用激光沖擊波產生的高壓將需拆裝的微機電器件噴射到回收箱中，把沖擊卸下的微機電器件置于丙酮中浸泡，然后用超聲清洗除去微機電器件表面的吸收層。

2.如權利要求1所述的一種激光沖擊輔助微機電器件拆卸的方法，其特征在于：所述金屬玻璃為(Gd-Tb)-Co-Al多元合金合成的塊體非晶；金屬玻璃的厚度應使得玻璃能承受不小于500MPa的壓力。

3.如權利要求1所述的一種激光沖擊輔助微機電器件拆卸的方法，其特征在于：所述吸收層的制備方法如下：將作為粘結劑的聚乙烯醇、直徑為4~6微米的碳粉、醋酸乙酯、聚乙烯醇照質量比6:2:1:1的比例置于容器中，將涂料攪拌調勻，然后采用質量百分濃度為30%的氫氧化鈉溶液調節涂層涂料的PH值為7，即得到吸收層。

4.如權利要求1所述的一種激光沖擊輔助微機電器件拆卸的方法，其特征在于：進行拆卸的微機電器件形狀有如下要求：沿激光束輻射方向微機電器件的尺寸不可呈減小趨勢，能夠確保微機電器件可以沿激光束方向順利拆除。

5.如權利要求1所述的一種激光沖擊輔助微機電器件拆卸的方法，其特征在于：所述的激光脈寬為10-20?ns，激光沖擊時間為60-120?ns；能量為1-12焦耳。