[發明專利]一種硅片金相試樣的制備方法無效
| 申請號： | 201210064168.X | 申請日： | 2012-03-12 |
| 公開（公告）號： | CN102607916A | 公開（公告）日： | 2012-07-25 |
| 發明（設計）人： | 王風振;宮龍飛 | 申請（專利權）人： | 蘇州協鑫工業應用研究院有限公司 |
| 主分類號： | G01N1/28 | 分類號： | G01N1/28;G01N1/32;G01N1/36 |
| 代理公司： | 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 肖明芳 |
| 地址： | 215000 江蘇省蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 硅片 金相 試樣 制備 方法 | ||
1.一種硅片金相試樣的制備方法，其特征在于，它包括如下步驟：
(1)將亞克力樹脂粉和液態固化劑按使用說明配比混勻，添加兩者總重量的5～25％有機溶劑，混勻，制成冷鑲劑；
(2)將硅片放置在硅膠冷鑲模具底部，其上澆鑄步驟(1)制得的冷鑲劑，固化；
(3)對固化后的金相試樣進行拋光、腐蝕處理；
其中，所述的有機溶劑為乙醇、乙二醇或異丙醇。
2.根據權利要求1所述的硅片金相試樣的制備方法，其特征在于，所述的硅片厚度為250μm以下。
3.根據權利要求1所述的硅片金相試樣的制備方法，其特征在于，步驟(2)中，固化溫度為20～30℃，固化時間為0.5～2h。
4.根據權利要求1所述的硅片金相試樣的制備方法，其特征在于，步驟(3)中，所述的拋光、腐蝕處理為二次拋光和二次腐蝕處理。
5.根據權利要求4所述的硅片金相試樣的制備方法，其特征在于，步驟(3)中，對固化后的金相試樣進行拋光、腐蝕處理具體步驟如下：
(3a)在拋光機上對固化后的金相試樣進行初步拋光，拋光液依次為粒徑9μm、3μm的金剛石懸浮液，然后用粒徑0.05～0.1μm的SiO2懸浮液進行拋光；
(3b)用純水將步驟(3a)拋光后的試樣清洗干凈并吹干；
(3c)使用酸腐蝕液或堿腐蝕液對步驟(3b)處理后的試樣表面進行淺腐蝕，時間為2～5min；
(3d)對步驟(3c)處理后的試樣進行二次拋光，拋光布選用柔軟短絨布，拋光液選擇粒徑為0.05～0.1μm的SiO2懸浮液，時間為1～2min；
(3e)用純水對步驟(3d)處理后的試樣表面清洗干凈；
(3f)用擇優腐蝕液對步驟(3e)處理后的試樣進行擇優腐蝕，時間為3～15min；
(3g)使用純凈水將步驟(3f)處理后的試樣清洗干凈并吹干。
6.根據權利要求5所述的硅片金相試樣的制備方法，其特征在于，步驟(3b)中使用的酸腐蝕液為68％mol/L的硝酸、40％mol/L的氫氟酸和H2O按體積比3∶1∶5～3∶1∶20的混合物；所述的堿腐蝕液為NaOH和H2O按重量比1∶5～1∶20的混合物。
7.根據權利要求5所述的硅片金相試樣的制備方法，其特征在于，步驟(3f)中使用的擇優腐蝕液為49％mol/L的氫氟酸和0.15M?K2Cr2O7水溶液按體積比2∶1的混合物。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于蘇州協鑫工業應用研究院有限公司，未經蘇州協鑫工業應用研究院有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201210064168.X/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
