[發明專利]折斷裝置及折斷方法有效
| 申請號: | 201210062884.4 | 申請日: | 2012-03-07 |
| 公開(公告)號: | CN102729341A | 公開(公告)日: | 2012-10-17 |
| 發明(設計)人: | 富永圭介 | 申請(專利權)人: | 三星鉆石工業股份有限公司 |
| 主分類號: | B28D5/00 | 分類號: | B28D5/00;C03B33/02;B28D7/04 |
| 代理公司: | 北京中原華和知識產權代理有限責任公司 11019 | 代理人: | 壽寧;張華輝 |
| 地址: | 日本大阪府吹田*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 折斷 裝置 方法 | ||
1.一種脆性材料基板的折斷裝置,其特征在于其由用來將形成有劃線的脆性材料基板以形成有當該劃線的面朝上的姿勢加以裝載的裝載臺、將該脆性材料基板在該裝載臺上保持于定位置的保持手段、及配置在該裝載臺上方的吸引墊構成;
該吸引墊具備于其下面側產生朝上的吸引作用的減壓空間部、及挾著此減壓空間部至少從左右兩側的部位噴出朝下的空氣的噴出孔,借由該吸引墊的減壓空間部產生的朝上的吸引作用于劃在線進行吸引,并以從該噴出孔噴出的空氣將該劃線的左右兩側部分向下方按壓,據以折斷該脆性材料基板。
2.如權利要求1所述的脆性材料基板的折斷裝置,其特征在于該吸引墊具備朝下開口的空氣吸引孔,借由從此空氣吸引孔吸引空氣據以形成該減壓空間部。
3.如權利要求1所述的脆性材料基板的折斷裝置,其特征在于該吸引墊在下面形成有凹部,在該凹部中央形成具有以越往下方直徑越細的方式形成的圓錐狀側面的圓柱狀突部,從該噴出孔吹出的空氣撞擊該圓錐狀側面后即形成朝下方一邊回旋一邊下降的回旋下降流,借由當該回旋下降流形成的氣旋效果在該凹部中央形成該減壓空間部。
4.如權利要求1至3中任一權利要求所述的脆性材料基板的折斷裝置,其特征在于該吸引墊形成為可相對裝載了脆性材料基板的裝載臺,沿劃線的方向相對移動。
5.如權利要求1或2中任一權利要求所述的脆性材料基板的折斷裝置,其特征在于該吸引墊是以沿劃線延伸的長條體形成。
6.如權利要求1至3中任一權利要求所述的脆性材料基板的折斷裝置,其特征在于脆性材料基板的保持手段包含形成于該裝載臺的多數個吸附孔或多孔質板,借由來自此吸附孔或多孔質板的吸引空氣吸附保持脆性材料基板,此吸附孔或多孔質板的脆性材料基板的吸附力,至少在吸引墊的動作時設定為在容許脆性材料基板的倒V字形彎曲的范圍內。
7.一種脆性材料基板的折斷方法,其特征在于其將形成有劃線的脆性材料基板以設有該劃線的面朝上的方式裝載于裝載臺上并保持于定位置;
將下面側具備可產生朝上吸引作用的減壓空間部與夾著此減壓空間部至少從左右兩側的部位噴出朝下的空氣的噴出孔的吸引墊,以該下面朝向裝載臺上的脆性材料基板的方式配置在裝載臺上方;
借由該吸引墊的該減壓空間部產生的朝上的吸引作用,吸引形成在該脆性材料基板的劃線的上方部分,并以從該噴出孔噴出的空氣按壓劃線的左右兩側部分,據以折斷該脆性材料基板。
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