[發明專利]一種光場相位分布檢測系統及檢測方法

無效

• 申請號: 201210062529.7
• 申請日: 2012-03-09
• 公開（公告）號: CN102589685A
• 公開（公告）日: 2012-07-18
• 發明（設計）人: 董祥美;耿滔;郭寶光;高秀敏;莊松林
• 申請（專利權）人: 上海理工大學
• 主分類號: G01J1/04
• 分類號: G01J1/04
• 代理公司: 上海東創專利代理事務所(普通合伙) 31245
• 代理人: 寧芝華

1.一種光場相位分布檢測系統，包括光纖分束器、光電探測器、掃描驅動模塊和掃描部件，其特征在于：所述光纖分束器的輸入端至少為兩個，每個光纖分束器輸入端的前端分別設置為圓錐形狀，構成光纖探針；所有的光纖探針并排靠緊并固定，所有光纖探針的光纖傳到部分相互固定，制成相位檢測探針；相位檢測探針和光纖分束器的近場光耦合部分均固定在同一個掃描部件中，光纖分束器的光信號輸出端位于掃描部件外；掃描驅動模塊與掃描部件相連接，光纖分束器的光信號輸出端與光電探測器相連接。

2.根據權利要求1所述的一種光場相位分布檢測系統，其特征在于：所述的光纖分束器為單模光纖分束器、多模光纖分束器、單模-多模混合型光纖分束器的一種。

3.根據權利要求1所述的一種光場相位分布檢測系統，其特征在于：所述的光纖分束器其輸入端數量大于或等于貳，其輸出端數量大于或等于壹。

4.根據權利要求1所述的一種光場相位分布檢測系統，其特征在于：所述的掃描驅動模塊為壓電陶瓷納米移動平臺。

5.根據權利要求1所述的一種光場相位分布檢測系統，其特征在于：所述的光電探測器為單傳感面的光電二極管、雪崩管、光電倍增管的一種。

6.根據權利要求1所述的一種光場相位分布檢測系統的檢測方法，其特征在于：運用光纖分束器的近場光耦合相干技術和并列光纖探針掃描技術，通過光電探測器檢測光纖分束器輸出端的光強信號，分析聚焦光束的波前相位分布，得到被測光場的相位信息，實現光場相位分布的測量。