[發明專利]柵長可調的標準單元版圖設計方法及其裝置

有效

• 申請號: 201210062312.6
• 申請日: 2012-03-09
• 公開（公告）號: CN102663156A
• 公開（公告）日: 2012-09-12
• 發明（設計）人: 吳玉平;劉磊;陳天佐;呂志強
• 申請（專利權）人: 中國科學院微電子研究所
• 主分類號: G06F17/50
• 分類號: G06F17/50
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 逯長明;王寶筠

1.一種柵長可調的標準單元版圖設計方法，其特征在于，包括：

提供具有固定柵長的標準單元的版圖，版圖內的柵圖形沿同一方向設置，版圖的第一坐標軸沿柵長方向；

對版圖中的至少一條柵圖形的柵長進行調整，柵圖形具有第一邊和與其相對的第二邊，第一邊和第二邊的方向為沿與第一坐標軸正交的方向，以待調整的柵圖形的第一邊或第二邊為待調整邊，另一邊為固定邊，其中，對于每一條待調整的柵圖形進行調整的步驟包括：

將柵圖形的待調整邊的第一坐標值變化ΔL，使其柵長變動ΔL的絕對值；以及將在第一坐標軸中位于待調整邊與固定邊之間的其他掩膜圖形的頂點的第一坐標值變化ΔL/2，以及將在第一坐標軸中位于待調整邊旁側的其他掩膜圖形的頂點的第一坐標值變化ΔL，使其他掩膜圖形與待調整的柵圖形的相對位置保持不變。

2.根據權利要求1所述的柵長可調的標準單元版圖設計方法，其特征在于，依次對版圖中的多條柵圖形的柵長進行調整。

3.根據權利要求1所述的柵長可調的標準單元版圖設計方法，其特征在于，按照柵圖形的第一坐標值依次對版圖中的多條柵圖形的柵長進行調整。

4.根據權利要求1-3中任一項所述的柵長可調的標準單元版圖設計方法，其特征在于，所有待調整的柵圖形的待調整邊為同一邊。

5.根據權利要求1所述的柵長可調的標準單元版圖設計方法，其特征在于，對版圖中的多條柵圖形的柵長進行調整，從位于第一坐標軸中部的一條掩膜圖形的位置為起點，同時對該起點兩側的待調整的柵圖形進行調整，且其一側的所有待調整的柵圖形的待調整邊為一邊，另一側的所有待調整的柵圖形的待調整邊為另一邊。

6.一種柵長可調的標準單元版圖設計裝置，其特征在于，包括：

版圖提供單元，用于提供具有固定柵長的標準單元的版圖，版圖內的柵沿同一方向設置，版圖的第一坐標軸沿柵長方向；

柵長調整單元，用于對版圖中的至少一條柵圖形的柵長進行調整，柵圖形具有第一邊和與其相對的第二邊，第一邊和第二邊的方向為沿與第一坐標軸正交的方向，待調整的柵圖形的第一邊或第二邊為待調整邊，另一邊為固定邊，其中，柵長調整單元包括：待調整的柵圖形變動單元，用于將待調整的柵圖形的待調整邊的第一坐標值變化ΔL，使其柵長變動ΔL的絕對值；以及，其他掩膜圖形調整單元，用于將位于待調整邊與固定邊之間的其他掩膜圖形的頂點的第一坐標值變化ΔL/2，以及將位于待調整邊旁側的其他掩膜圖形的頂點的第一坐標值變化ΔL，使其他掩膜圖形與待調整的柵圖形的相對位置保持不變。