[發明專利]陣列光束薄膜應力測量裝置無效
| 申請號： | 201210062082.3 | 申請日： | 2012-03-10 |
| 公開（公告）號： | CN102636302A | 公開（公告）日： | 2012-08-15 |
| 發明（設計）人： | 方運;王逸群;王瑋;張永紅;朱建軍;張寶順 | 申請（專利權）人： | 中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所 |
| 主分類號： | G01L1/24 | 分類號： | G01L1/24 |
| 代理公司： | 蘇州慧通知識產權代理事務所(普通合伙) 32239 | 代理人： | 丁秀華 |
| 地址： | 215123 江蘇省蘇州*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 陣列 光束 薄膜 應力 測量 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種陣列光束薄膜應力測量裝置，包括多光束圖形發生器和光束位置探測器，所述多光束圖形發生器包括激光器、倒置望遠準直光學系統、分束器和準直透鏡，其特征在于：所述分束器可產生陣列光束，所述陣列光束由陣列排布的復數個相互平行的單束平行光束組成。
2.根據權利要求1所述的陣列光束薄膜應力測量裝置，其特征在于：所述分束器具有衍射光柵結構。
3.根據權利要求1所述的陣列光束薄膜應力測量裝置，其特征在于：所述分束器為數字微鏡器件。
4.根據權利要求1所述的陣列光束薄膜應力測量裝置，其特征在于：所述分束器為液晶空間光調制器。
5.根據權利要求1至4中任一項所述的陣列光束薄膜應力測量裝置，其特征在于：所述陣列光束的排布方式為四方排列。
6.根據權利要求1至4中任一項所述的陣列光束薄膜應力測量裝置，其特征在于：所述陣列光束的排布方式為六方排列。
7.根據權利要求1至4中任一項所述的陣列光束薄膜應力測量裝置，其特征在于：所述陣列光束的排布方式為蜂窩排列。
8.根據權利要求1所述的陣列光束薄膜應力測量裝置，其特征在于：所述陣列光束中的相鄰光束中心之間的間距為0.5～5mm。
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