[發(fā)明專利]一種偏振二次靶能量色散型X射線熒光光譜儀

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210060257.7
• 申請(qǐng)日: 2012-03-09
• 公開（公告）號(hào): CN102841108A
• 公開（公告）日: 2012-12-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉小東;劉明博;范真
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市華唯計(jì)量技術(shù)開發(fā)有限公司
• 主分類號(hào): G01N23/223
• 分類號(hào): G01N23/223
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種偏振二次靶能量色散型X射線熒光光譜儀，所述的光譜儀將二次靶和樣品兩個(gè)平面布置在空間立體光路上，光譜儀的X光管射出原級(jí)X射線，所述的原級(jí)X射線以45°角入射到二次靶上，從二次靶上以45°出射的原級(jí)X射線的散射線是偏振方向垂直于入射平面的全偏振X射線，所述的原級(jí)X射線在二次靶上激發(fā)的靶材特征X射線為各向同性的圓偏振線，且為分立譜線；

---所述的二次靶的散射線按空間立體光路，以45°角入射到樣品上，入射線中的散射部分偏振方向平行于此次的入射平面，經(jīng)過樣品平面的再次偏振出射時(shí)，在45°全偏振的原級(jí)X射線的散射線不會(huì)在樣品上產(chǎn)生45°角出射的散射線，即偏振消光；原級(jí)X射線在二次靶上激發(fā)的靶材特征X射線為各向同性的圓偏振線，且為分立譜線；入射線中的靶材特征譜被樣品散射后是全偏振，樣品被激發(fā)的特征X射線為圓偏振的線光譜；

---所述的樣品被激發(fā)的特征X射線由探測(cè)器接收并分析，所述的探測(cè)器在45°角只接收到樣品中的元素被激發(fā)的特征X射線及二次靶特征X射線的散射線。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的偏振二次靶能量色散型X射線熒光光譜儀，其特征在于：所述的原級(jí)X射線為X光管出射的連續(xù)的軔致福射及分立的靶材特征線，是各向同性的圓偏振X射線。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的偏振二次靶能量色散型X射線熒光光譜儀，其特征在于：所述的二次靶的散射線按空間立體光路，以45°角入射到樣品上，入射線中的散射部分偏振方向平行于此次的入射平面，即散射部分在出射時(shí)不會(huì)再出現(xiàn)的包括連續(xù)譜和靶材特征譜。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的偏振二次靶能量色散型X射線熒光光譜儀，其特征在于：所述的靶材特征譜被樣品散射后包括康普頓散射和瑞利散射，是全偏振的分立譜。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的偏振二次靶能量色散型X射線熒光光譜儀，其特征在于：所述的二次靶采用巴克拉靶，所述的巴克拉靶用二次靶的散射線來激發(fā)樣品。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的偏振二次靶能量色散型X射線熒光光譜儀，其特征在于：所述的二次靶采用熒光二次靶，所述的熒光二次靶采用二次靶出射的熒光譜線激發(fā)樣品。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的偏振二次靶能量色散型X射線熒光光譜儀，其特征在于：所述的原級(jí)X射線包括連續(xù)譜和靶材料的分立特征X射線。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的偏振二次靶能量色散型X射線熒光光譜儀，其特征在于：在二次靶的出射光路上加有濾光片，所述的濾光片將二次靶出射的熒光譜線過濾到只剩一條強(qiáng)譜線，其他的強(qiáng)譜線被濾光片吸收到很低。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的偏振二次靶能量色散型X射線熒光光譜儀，其特征在于：所述的濾光片的材料和厚度是經(jīng)過計(jì)算，使二次靶出射的多條特征熒光X射線變成準(zhǔn)單色X射線。