[發明專利]固態攝像裝置、制造固態攝像裝置的方法以及電子設備

無效

• 申請號: 201210058169.3
• 申請日: 2012-03-07
• 公開（公告）號: CN102683365A
• 公開（公告）日: 2012-09-19
• 發明（設計）人: 大塚洋一
• 申請（專利權）人: 索尼公司
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146
• 代理公司: 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司 11290
• 代理人: 褚海英;武玉琴

相關申請的交叉引用

本發明包含與2011年3月14日向日本專利局提交的日本優先權專利申請JP2011-055630所公開的內容相關的主題，因此將該日本優先權申請的全部內容以引用的方式并入本文。

技術領域

本發明涉及一種固態攝像裝置、制造固態攝像裝置的方法以及電子設備。

背景技術

作為用于數碼攝像機或數碼照相機的固態攝像裝置，相關技術中揭露了電荷耦合器件(CCD)型固態攝像裝置或互補金屬氧化物半導體(CMOS)型固態攝像裝置。根據光入射至感光部的方向，這種固態攝像裝置大多分為兩類。

一類固態攝像裝置是感應從半導體基板的形成有布線層的前表面側入射的光的固態攝像裝置(例如，參考日本未審查的專利申請公開公報第2002-314058號)。另一類固態攝像裝置是感應從半導體基板的未形成有布線層的后表面側入射的光的所謂后表面照射型固態攝像裝置(例如，參考日本未審查的專利申請公開公報第2009-176949和2006-019653號以及日本專利第3050583號)。

在這種固態攝像裝置中，設置遮光膜以在像素之間進行遮蔽。例如，在日本未審查的專利申請公開公報第2009-176949揭露的固態攝像裝置中，遮光膜設置在與濾色器相同的平面上以減少相鄰像素的混色。

當遮光膜設置于固態攝像裝置時，可減少相鄰像素的混色，但是存在的問題是一部分斜射光被遮光膜中斷，從而使對斜射光的感光度降低。

日本未審查的專利申請公開公報第2002-314058號揭露了一種通過以多層方式設置的微透鏡來聚光斜射光的方法，以便可靠地將光聚光到感光部。

然而，在日本未審查的專利申請公開公報第2002-314058號揭露的方法中，不僅需要設置微透鏡，還必須設置層內微凹透鏡，因而存在的問題是很難使從微透鏡到感光部的厚度變小。

發明內容

本發明期望提供一種能夠抑制感光度降低的固態攝像裝置及其制造方法。

此外，本發明期望提供一種具有該固態攝像裝置的電子設備。

根據本發明的實施例，揭露了一種固態攝像裝置，其包括：多個像素區域，各個像素區域包括具有將入射光轉換為電信號的光電轉換單元的像素、與所述像素對應形成的濾色器、以及將入射光經由所述濾色器聚光至所述光電轉換單元的微透鏡；第一遮光部，其具有位于所述微透鏡側的第一端面和與所述第一端面相反的第二端面，且其形成于所述多個像素區域中的各個像素區域的各個側邊部；以及第二遮光部，其具有位于所述微透鏡側的第一端面和與所述第一端面相反的第二端面，且其形成于像素區域的各個角部，從所述像素的表面到所述第二遮光部的第一端面的距離比到所述第一遮光部的第一端面的距離短。

根據本發明該實施例的固態攝像裝置，從所述像素的表面到形成于所述像素區域的各個角部的所述第二遮光部的微透鏡側端面的距離比到所述第一遮光部的微透鏡側端面的距離短。因此，來自所述微透鏡的角部的入射光入射至所述光電轉換單元而不被所述第二遮光部中斷。其結果是，入射至所述光電轉換單元的光增加了。

此外，根據本發明的另一實施例，提供了一種制造固態攝像裝置的方法。該方法包括：形成像素，其具有將入射光轉換為電信號的光電轉換單元；形成濾色器，其與各個所述像素對應形成；形成微透鏡，其將入射光經由所述濾色器聚光至所述光電轉換單元；以及形成第一遮光部和第二遮光部，第一遮光部形成于包括所述像素、所述濾色器以及所述微透鏡的像素區域的各個側邊部并且具有位于所述微透鏡側的第一端面和與所述第一端面相反的第二端面，第二遮光部具有位于所述微透鏡側的第一端面和與所述第一端面相反的第二端面并且形成于像素區域的各個角部，從所述像素的表面到所述第二遮光部的第一端面的距離比到所述第一遮光部的第一端面的距離短。

根據本發明的又一實施例，提供了一種包括上述固態攝像裝置、光學透鏡以及信號處理電路的電子設備。

根據本發明的實施例可以抑制感光度的降低。

附圖說明

圖1是說明根據本發明第一實施例的固態攝像裝置的示意圖；

圖2A和圖2B是根據本發明第一實施例的固態攝像裝置的橫截面圖；

圖3A至圖3D是說明根據本發明第一實施例的微透鏡的示意圖；

圖4A至圖4C是說明根據本發明第一實施例的遮光膜的示意圖；

圖5A至圖5D是根據本發明第一實施例的固態攝像裝置的橫截面圖；

圖6是根據本發明第一實施例的固態攝像裝置的橫截面圖；