[發明專利]一種多元金屬氧化物氣敏傳感器氣敏元件及其制備方法有效
| 申請號: | 201210057850.6 | 申請日: | 2012-03-07 |
| 公開(公告)號: | CN102621198A | 公開(公告)日: | 2012-08-01 |
| 發明(設計)人: | 楊尊先;郭太良;李福山;徐勝;張永愛;葉蕓;李松;王靈婕 | 申請(專利權)人: | 福州大學 |
| 主分類號: | G01N27/30 | 分類號: | G01N27/30 |
| 代理公司: | 福州元創專利商標代理有限公司 35100 | 代理人: | 蔡學俊 |
| 地址: | 350001 福*** | 國省代碼: | 福建;35 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 多元 金屬 氧化物 傳感器 元件 及其 制備 方法 | ||
1.一種多元金屬氧化物氣敏傳感器氣敏元件的制備方法,其特征在于:所述的制備方法包括以下步驟:
采用電紡絲靜電場組裝方法在梳齒電極上沉積納米絲狀殼核結構材料;
采用低溫水熱負載方式在梳齒電極上的殼核結構外層包覆氣敏薄膜源材料;
對步驟(2)的梳齒電極進行熱處理合成氣敏材料。
2.根據權利要求1所述的多元金屬氧化物氣敏傳感器氣敏元件的制備方法,其特征在于:步驟(1)中采用雙針頭同軸電紡絲法;梳齒電極收集的材料為近單層排列的納米絲狀陣列;電紡絲靜電組裝過程中梳齒電極端采用加熱輔助合成材料。
3.根據權利要求1或2所述的多元金屬氧化物氣敏傳感器氣敏元件的制備方法,其特征在于:步驟(1)中納米絲狀殼核結構材料采用重油作為核心層原料,采用PAN、DMF、氯化錫和氯化鋅混合液作為電紡絲外殼層原料。
4.根據權利要求1所述的多元金屬氧化物氣敏傳感器氣敏元件的制備方法,其特征在于:步驟(2)中水熱負載以氯化銅或硫酸銅為溶質的水溶液或穩定溶膠作為原料,原料中加入氨水作為沉淀劑。
5.根據權利要求1所述的多元金屬氧化物氣敏傳感器氣敏元件的制備方法,其特征在于:步驟(3)熱處理升溫速率為1-5℃/分鐘,保溫溫度為500-600℃。
6.根據權利要求1所述的多元金屬氧化物氣敏傳感器氣敏元件的制備方法,其特征在于:所述的氣敏傳感器氣敏元件以多元金屬氧化物納米絲/納米管結構材料為氣敏材料。
7.根據權利要求6所述的多元金屬氧化物氣敏傳感器氣敏元件的制備方法,其特征在于:所述的多元金屬氧化物納米絲/納米管結構材料直徑為50-200納米。
8.根據權利要求1所述的多元金屬氧化物氣敏傳感器氣敏元件的制備方法,其特征在于:通過該方法制備得到的梳齒電極及材料組成的元件直接裝配成氣敏傳感器。
9.一種如權利要求1所述的制備方法制得的多元金屬氧化物氣敏傳感器氣敏元件。
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