[發明專利]具有抗橫向干擾的硅納米帶巨壓阻效應微加速度計

有效

• 申請號: 201210057647.9
• 申請日: 2012-03-07
• 公開（公告）號: CN102680738A
• 公開（公告）日: 2012-09-19
• 發明（設計）人: 李孟委;劉俊;杜康;王莉;李錫廣
• 申請（專利權）人: 中北大學
• 主分類號: G01P15/12
• 分類號: G01P15/12;B81B3/00
• 代理公司: 北京金智普華知識產權代理有限公司 11401
• 代理人: 皋吉甫

1.具有抗橫向干擾的硅納米帶巨壓阻效應微加速度計，其特征在于：主要結構由鍵合基底、敏感質量塊、固定外框、組合梁、硅納米線電阻、凹槽、阻尼孔組成，組合梁由檢測梁、連接塊、橫向緩沖梁組成，硅納米線電阻由硅納米帶電阻層、硅納米帶電阻正極、硅納米帶電阻負極組成；在鍵合基板（1）的四周區域鍵合有固定基座（3），固定基座（3）內側四邊的中心位置處連接有組合梁（4、5、6、7）的一端，組合梁（4、5、6、7）的另一端分別連接于敏感質量塊（2）的四角部位，敏感質量塊（1）上均布有阻尼孔（17），組合梁（4、5、6、7）的根部區域分別制作有硅納米帶電阻（8、9、10、11）。

2.根據權利要求1所述具有抗橫向干擾的硅納米帶巨壓阻效應微加速度計，其特征在于：所述的鍵合基底（1）上制作有方形凹槽（12），敏感質量塊（2）可在凹槽（12）內上下、左右、前后運動。

3.根據權利要求1所述具有抗橫向干擾的硅納米帶巨壓阻效應微加速度計，其特征在于：所述的組合梁（4、5、6、7），結構相同，檢測梁（18）連接于連接塊（19）的中心位置，連接塊（19）的兩端分別連接于橫向緩沖梁（21、22），橫向緩沖梁（21、22）的另一端連接于橫向緩沖梁（20、23）。

4.根據權利要求1所述具有抗橫向干擾的硅納米帶巨壓阻效應微加速度計，其特征在于：所述的敏感質量塊（2）四邊的中心位置加工有組合梁運動空間（13、14、15、16），組合梁（4、5、6、7）分別嵌于組合梁運動空間（13、14、15、16）內，組合梁（4、5、6、7）可在組合梁運動空間（13、14、15、16）內上下、左右、前后運動。

5.根據權利要求1所述具有抗橫向干擾的硅納米帶巨壓阻效應微加速度計，其特征在于：所述的硅納米帶電阻（8、9、10、11），結構相同，在硅襯底層（24）上制作有二氧化硅層（25），二氧化硅層（25）上制作有折形的硅納米帶電阻層（26），硅納米帶電阻層（26）的兩端分別連接有硅納米帶電阻正極（27）、硅納米帶電阻負極（28）。