[發(fā)明專利]基于熱和應力條件的動態(tài)測試

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210057625.2
• 申請日: 2012-03-06
• 公開（公告）號: CN102736015A
• 公開（公告）日: 2012-10-17
• 發(fā)明（設計）人: 王敏哲;彭經能;林鴻志;陳顥
• 申請（專利權）人: 臺灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28
• 代理公司: 北京德恒律師事務所 11306
• 代理人: 陸鑫;房嶺梅

1.一種方法包括：

建立堆疊封裝件中第一管芯的多組測試條件，其中，所述多組測試條件是所述第一管芯的溫度的函數(shù)，并且其中，所述堆疊封裝件包括多個堆疊的管芯；

測量所述第一管芯的第一溫度；

從所述多組測試條件中找出所述第一管芯的相應的測試條件組，其中，所述測試條件組對應于所述第一溫度；以及

在所述第一溫度下使用所述測試條件組測試所述第一管芯，從而生成測試結果。

2.根據(jù)權利要求1所述的方法，進一步包括：

建立所述第一管芯的動態(tài)合格/不合格指標，其中，所述動態(tài)合格/不合格指標是所述第一管芯的溫度的函數(shù)；

從所述動態(tài)合格/不合格指標中找出所述第一管芯的合格/不合格標準，其中所述合格/不合格標準對應于所述第一溫度；以及

將所述測試結果和所述合格/不合格標準比較，從而確定所述第一管芯的合格/不合格狀態(tài)，或者

所述第一管芯的所述動態(tài)合格/不合格指標是所述第一管芯的應力的函數(shù)，并且其中，所述方法進一步包括：

在所述第一溫度下測量所述第一管芯的應力，其中，所述第一管芯的所述合格/不合格標準進一步對應于所述第一管芯的所述應力，或者

進一步包括：在測量所述第一管芯的溫度和測試所述第一管芯的步驟之前，測試所述堆疊封裝件中的第二管芯，其中，在測試所述第二管芯的步驟和測量所述第一溫度的步驟之間，所述第一管芯的溫度不變，或者

建立所述第一管芯的多組測試條件的步驟包括：建立包括多個溫度范圍的查找表，每個所述溫度范圍都對應于多組測試條件之一，

所述查找表進一步包括：互不相同的多個動態(tài)指標，其中，每個所述動態(tài)指標都對應于所述多個溫度范圍之一，并且其中，所述多個動態(tài)指標選自基本上由電流指標、電壓指標、頻率指標、能耗指標、DC參數(shù)指標、及其組合組成的組。

3.根據(jù)權利要求1所述的方法，其中，所述堆疊封裝件還包括第二管芯，并且其中，所述多組測試條件是所述第一管芯和所述第二管芯的溫度的函數(shù)，

進一步包括：

建立所述第一管芯和所述第二管芯的動態(tài)合格/不合格指標，其中，所述動態(tài)合格/不合格指標是所述第一管芯和所述第二管芯的溫度的函數(shù)；

測量所述第二管芯的第二溫度，其中，所述測試條件組包括所述第一管芯和所述第二管芯的共同測試條件，并且其中，所述測試條件組對應于所述第一管芯的所述第一溫度和所述第二管芯的第二溫度；以及

使用所述測試條件組測試所述第二管芯，或者

所述第一管芯和所述第二管芯的所述動態(tài)合格/不合格指標是所述第一管芯和所述第二管芯中的應力的其他函數(shù)。

4.一種方法，包括：

建立封裝件中的第一管芯的動態(tài)合格/不合格指標，其中，所述動態(tài)合格/不合格指標是所述第一管芯的溫度的函數(shù)，并且其中，所述封裝件包括多個堆疊管芯；

測量所述第一管芯的第一溫度；

找出對應于所述第一溫度的所述第一管芯的合格/不合格標準；

在所述第一溫度下，測試所述第一管芯，從而生成測試結果；以及

將所述測試結果與所述合格/不合格標準比較，從而確定所述第一管芯的合格/不合格狀態(tài)。

5.根據(jù)權利要求4所述的方法，進一步包括：

建立所述第一管芯的多組測試條件，其中，所述多個測試條件是所述第一管芯的溫度的函數(shù)；以及

從所述多組測試條件中找出所述第一管芯的相應的測試條件組，其中，所述測試條件組對應于所述第一溫度，并且其中，使用所述測試條件組實施測試所述第一管芯的步驟，或者

所述第一管芯的所述動態(tài)合格/不合格指標是所述第一管芯中的應力的另一函數(shù)，并且其中，所述方法進一步包括：

在所述第一溫度下，測量所述第一管芯的應力，其中，所述第一管芯的所述合格/不合格標準對應于所述第一管芯的應力，或者

進一步包括：在測量所述第一管芯的所述第一溫度和測試所述第一管芯之前，測試所述封裝件中的第二管芯，并且其中，在測試所述第二管芯的步驟和測量所述第一溫度的步驟之間，所述第一管芯的溫度基本上不變，或者

建立所述第一管芯的所述動態(tài)合格/不合格指標的步驟包括：建立包括多個溫度范圍的查找表，每個查找表都對應于所述多個動態(tài)合格/不合格指標之一，

所述查找表進一步包括：互不相同的多組測試條件，其中，每個所述多組測試條件都對應于所述多個溫度范圍之一。