[發(fā)明專利]正交點(diǎn)電接觸標(biāo)準(zhǔn)棒的微細(xì)電極直徑在線測(cè)量方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210057437.X
• 申請(qǐng)日: 2012-03-06
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102607398A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-07-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 佟浩;李勇;張龍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 清華大學(xué)
• 主分類號(hào): G01B7/12
• 分類號(hào): G01B7/12
• 代理公司: 北京眾合誠(chéng)成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11246
• 代理人: 朱琨

1.正交點(diǎn)電接觸標(biāo)準(zhǔn)棒的微細(xì)電極直徑在線測(cè)量方法，其特征在于，包括以下步驟：

1)以在線制作好的微細(xì)電極(2)的軸向作為Z軸，將直徑為D的標(biāo)準(zhǔn)棒(1)固定安裝在XY平面上，XY平面是以X軸和Y軸為基礎(chǔ)而確立的，X軸、Y軸和Z軸兩兩相互正交，從而確立了三維直角坐標(biāo)系；

2)調(diào)節(jié)標(biāo)準(zhǔn)棒(1)軸線為X軸；

3)通過(guò)數(shù)控系統(tǒng)控制微細(xì)電極(2)與標(biāo)準(zhǔn)棒(1)沿著Y軸正負(fù)兩個(gè)方向相對(duì)運(yùn)動(dòng)，進(jìn)行兩次電接觸，兩次電接觸的電壓范圍均為12V～24V，當(dāng)進(jìn)行兩次電接觸時(shí)，微細(xì)電極(2)位于標(biāo)準(zhǔn)棒(1)的兩側(cè)而且微細(xì)電極(2)外徑與標(biāo)準(zhǔn)棒(1)外徑圓周點(diǎn)接觸；

4)通過(guò)數(shù)控系統(tǒng)給出兩次電接觸的Y軸位置坐標(biāo)Y₁和Y₂，則可測(cè)量出微細(xì)電極(2)徑向尺寸為d＝|Y₂-Y₁|-D。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的正交點(diǎn)電接觸標(biāo)準(zhǔn)棒的微細(xì)電極直徑在線測(cè)量方法，其特征在于，所述標(biāo)準(zhǔn)棒(1)的直徑D的范圍為0.3mm～0.7mm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的正交點(diǎn)電接觸標(biāo)準(zhǔn)棒的微細(xì)電極直徑在線測(cè)量方法，其特征在于，所述調(diào)節(jié)標(biāo)準(zhǔn)棒(1)軸線為X軸是指：使標(biāo)準(zhǔn)棒(1)軸線垂直于微細(xì)電極(2)軸向和標(biāo)準(zhǔn)棒運(yùn)動(dòng)方向所在平面。