[發明專利]高性能復合分子泵有效
| 申請號： | 201210057294.2 | 申請日： | 2012-03-06 |
| 公開（公告）號： | CN102536853A | 公開（公告）日： | 2012-07-04 |
| 發明（設計）人： | 郁晉軍;董欣;于天化 | 申請（專利權）人： | 北京北儀創新真空技術有限責任公司 |
| 主分類號： | F04D19/04 | 分類號： | F04D19/04;F04D29/38;F04D29/54;F04D29/00 |
| 代理公司： | 北京凱特來知識產權代理有限公司 11260 | 代理人： | 鄭立明;趙鎮勇 |
| 地址： | 102600 北京市大興*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 性能 復合 分子 | ||
1.一種高性能復合分子泵，包括泵殼、轉子體，所述轉子體與電機主軸固定連接，其特征在于，該分子泵自進氣口至排氣口由渦輪葉片級與筒式牽引級串聯而成；
所述渦輪葉片級包括設于所述轉子體上的渦輪動葉片和設于隔離環上的渦輪靜葉片；
所述筒式牽引級包括設于所述轉子體與牽引級定子之間的螺旋導流槽；
所述隔離環和所述牽引級定子固定于所述泵殼上。
2.根據權利要求1所述的高性能復合分子泵，其特征在于，所述渦輪動葉片為一級或多級，所述渦輪動葉片與渦輪靜葉片沿軸向交替排列。
3.根據權利要求1所述的高性能復合分子泵，其特征在于，所述螺旋導流槽設于所述轉子體上或設于所述牽引級定子上。
4.根據權利要求3所述的高性能復合分子泵，其特征在于，所述螺旋導流槽有一條或多條；
所述螺旋導流槽的深度為等深或自進氣端至排氣端逐漸變淺；
所述螺旋導流槽的寬度為等寬或自進氣端至排氣端逐漸變窄。
5.根據權利要求1至4任一項所述的高性能復合分子泵，其特征在于，所述渦輪葉片級和筒式牽引級的轉子體為分體結構或整體結構，分體結構的轉子體通過螺釘和銷釘連接固定連接。
6.根據權利要求5所述的高性能復合分子泵，其特征在于，所述電機主軸安裝于底盤上，所述底盤固定在所述殼體上，所述底盤與所述殼體之間設有排氣口法蘭。
7.根據權利要求6所述的高性能復合分子泵，其特征在于，所述底盤的下部固定有油池座。
8.根據權利要求7所述的高性能復合分子泵，其特征在于，所述進氣口設有過濾網。
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