[發明專利]一種光刻機高模態輕質量承片臺

有效

• 申請號: 201210055795.7
• 申請日: 2012-03-05
• 公開（公告）號: CN103293866A
• 公開（公告）日: 2013-09-11
• 發明（設計）人: 吳飛;郭琳;王保亮;馬寧;袁志揚;劉育;韓良華
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種光刻機高模態輕質量承片臺，其特征在于，包括：

承片臺頂部結構模塊和承片臺底部封板，所述承片臺頂部結構模塊和承片臺底部封板粘結為一體，形成上下兩層的夾心板結構；

所述承片臺頂部結構模塊具有平面矢量電機安裝腔、垂向驅動機構安裝腔、差分傳感器安裝腔和減重孔；

所述承片臺底部封板具有開孔以適應承片臺同微動臺的裝配。

2.根據權利要求1所述的光刻機高模態輕質量承片臺，其特征在于，所述減重孔為陣列減重圓孔、正六邊形孔或三角形孔。

3.根據權利要求2所述的光刻機高模態輕質量承片臺，其特征在于，所述陣列減重圓孔的圓孔位置采用等圓心距錯位布局，橫向兩列孔圓心距偏移相等距離，且布局中任意兩相鄰孔圓心距相等，任意三個兩兩相鄰圓孔的圓心距連線為等邊三角形。

4.根據權利要求2所述的光刻機高模態輕質量承片臺，其特征在于，所述正六邊形孔布局中任意兩相鄰正六邊形邊間距相等，分布均勻。

5.根據權利要求2所述的光刻機高模態輕質量承片臺，其特征在于，所述三角形孔布局中任意兩相鄰等邊三角形間距相等，分布均勻。

6.根據權利要求2所述的光刻機高模態輕質量承片臺，其特征在于，所述布置開孔的數量控制在40～300個之間，最小邊距離控制在2～4mm，占空比的數值在70％～95％之間。

7.根據權利要求1所述的光刻機高模態輕質量承片臺，其特征在于，所述減重孔通過模具制造實現，所述模具分上模及下模兩部分，上模為承料腔，下模通過預埋與減重孔設計布局相同的銷孔，將上下模貼合后注料并壓鑄成型，在承片臺處于可加工狀態下，通過機加工對其外形進行修整，最后燒結完成多孔承片臺的制造。

8.根據權利要求1所述的光刻機高模態輕質量承片臺，其特征在于，所述承片臺頂部結構模塊還包括拓撲加強筋主筋和拓撲加強筋副筋，所述主筋指由搭結中心平面矢量電機安裝腔到承片臺四周的支撐加強筋，所述副筋指由搭結內部主筋之間的支撐加強筋。

9.根據權利要求8所述的光刻機高模態輕質量承片臺，其特征在于，所述主筋的壁厚為8～30mm，所述副筋的壁厚為3～10mm。

10.根據權利要求1所述的光刻機高模態輕質量承片臺，其特征在于，所述承片臺采用微晶玻璃、碳纖維或其他致密復合材料制造。

11.根據權利要求1所述的光刻機高模態輕質量承片臺，其特征在于，所述承片臺采用泡沫陶瓷、蜂窩陶瓷或其他疏松多孔的材料制造。