[發明專利]垂直軸宏微復合直線運動平臺裝置

有效

• 申請號: 201210055118.5
• 申請日: 2012-03-05
• 公開（公告）號: CN102528472A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發明（設計）人: 李克天;陳新;陳新度;劉強
• 申請（專利權）人: 廣東工業大學
• 主分類號: B23Q1/26
• 分類號: B23Q1/26;B23Q17/24
• 代理公司: 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102
• 代理人: 林麗明

1.一種垂直軸宏微復合直線運動平臺裝置，其特征在于:?該裝置包括底座（1），氣浮導軌（2）安裝在底座（1）上，氣浮導軌長度方向上表面中間開有長槽，直線電機定子（3）鑲在氣浮導軌長槽中，氣浮導軌（2）側面裝有光柵定尺（4）；宏動平臺（6）安裝在氣浮導軌（2）上，宏動平臺（6）的底部形狀與氣浮導軌（2）表面相互匹配，宏動平臺（6）與氣浮導軌（2）的接觸面上有氣孔和氣道，高壓空氣從孔中噴出，在氣浮導軌（2）與宏動平臺（6）之間形成氣膜；宏動平臺（6）中還安裝直線電機動子（5），直線電機定子（3）與直線電機動子（5）相互作用，驅動宏動平臺（6）在氣浮導軌（2）上移動；宏動平臺（6）上還裝有光柵動尺（15），光柵動尺（15）與光柵定尺（4）相互匹配；框架（7）、工字型分布的四個柔性鉸鏈（10）和微動平臺（11）由一塊整體金屬切割而成，其中框架（7）安裝在宏動平臺（6）上，微動平臺（11）的一邊與框架（7）的一邊之間裝有壓電陶瓷驅動器或音圈電機（14）；微動平臺（11）與宏動平臺（6）的移動方向相互垂直，微動平臺（11）的底部設有若干氣孔和氣道，通過孔中噴出的高壓氣體，使微動平臺（11）與宏動平臺（6）接觸面之間形成氣膜；承物臺（12）的下面連接墊板（13）后一同固定在微動平臺（11）的上面；承物臺（12）與框架（7）之間有間隙；承物臺（12）與框架（7）之間還裝有微動傳感器，其中承物臺（12）側面裝有第一微動傳感器（8），框架（7）側面裝有第二微動傳感（9）。

2.根據權利要求1所述的垂直軸宏微復合直線運動平臺裝置，其特征在于:?上述每個柔性鉸鏈（10）的支干部寬度較寬，而鉸鏈部寬度較窄，每個支干的兩個端部為鉸鏈部位；鉸鏈部位的輪廓為對稱的圓弧過度。

3.根據權利要求1所述的垂直軸宏微復合直線運動平臺裝置，其特征在于:?上述承物臺（12）面積大于微動平臺（11）。