[發明專利]柔性CIGS太陽電池背電極層的制備工藝

無效

• 申請號: 201210054330.X
• 申請日: 2012-03-05
• 公開（公告）號: CN103296129A
• 公開（公告）日: 2013-09-11
• 發明（設計）人: 張建柱;孫玉娣;馬格林;彭博
• 申請（專利權）人: 任丘市永基光電太陽能有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種柔性銅銦鎵硒(CIGS)薄膜太陽電池背電極層的制備工藝，其特征在于：利用卷對卷(ROLL-TO-ROLL)的生產工藝，在柔性不銹鋼襯底上依次沉積鉻隔離層、鉬層，做為CIGS吸收層的預制層及電池的背電極層。

2.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：柔性銅銦鎵硒薄膜太陽電池的襯底為25～100μm厚的不銹鋼帶。

3.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：鉻隔離層與鉬層的制備均采用卷對卷(Roll-To-Roll)的鍍膜方式，并且都利用直流磁控濺射的方法制備。

4.根據權利要求3所述的制備方法，其特征在于：首先利用直流磁控濺射的方法在襯底上鍍一層鉻，厚度為1～2μm。鍍金屬鉻的目的是阻止不銹鋼襯底中得Fe元素向吸收層的擴散。

5.根據權利要求3所述的制備方法，其特征在于：利用直流磁控濺射的方法在鉻層上濺射Mo層，鉬層的厚度為1～1.5μm。

6.根據權利要求5所述的制備方法，其特征在于：Mo層的制備分兩步完成，具體包括以下工藝步驟：

(1)在1～1.5Pa的氬氣壓下沉積一層0.1～0.2μm厚的Mo層。

(2)在0.1～0.2Pa的氬氣壓下沉積一層0.9～1.2μm厚的Mo層。