[發(fā)明專利]一種用于檢測電試樣的電檢測裝置及電檢測方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210054097.5
• 申請日: 2009-07-23
• 公開（公告）號: CN102590569A
• 公開（公告）日: 2012-07-18
• 發(fā)明（設計）人: 貢特爾·伯姆;貝里斯拉夫·科皮拉斯;西爾維婭·埃爾勒;米夏埃爾·霍洛謝爾
• 申請（專利權）人: 精煉金屬股份有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司 31002
• 代理人: 鄧琪

本申請是申請?zhí)枮?00910151186.X的專利申請的分案申請。

技術領域

本發(fā)明涉及一種用于檢測電試樣的電檢測裝置，包括一個線路基板，該線路基板通過觸點間距轉換器電連接到一個檢測頭，其中，該線路基板機械連接至一個第一加強裝置并因此被加強。

背景技術

前述類型的電檢測裝置是已知的，被用于電接觸一個電試樣，例如晶片。這包括物理接觸，通過物理接觸，連接到檢測試樣電性能的檢測裝置的電路被接通。通過這種方式，可以將可靠性好的試樣與可靠性差的試樣區(qū)分開來。已知的電檢測裝置包括一個線路基板，該線路基板通過一個觸點間距轉換器與一個檢測頭電連接。檢測頭的觸針與所述觸點間距轉換器電連接，用于所述試樣的觸點接通。所述線路基板連接至前述檢測裝置。因此，由于不斷增加的集成密度，試樣的觸點間距非常小，為了增加可被檢測的布線密度，在接觸頭和線路基板間布置了觸點間距轉換器，該轉換器將檢測頭的觸針的小觸點間距轉變?yōu)檩^大的觸點間距，其中，較大的觸點間距與線路基板上相同大小的觸點間距相互關聯(lián)，且線路基板優(yōu)選地實現(xiàn)觸點間距的進一步放大，最后，觸點間距較大的線路基板觸頭通過適合的導線或類似電纜與檢測裝置連接。由于所述線路基板和接觸頭之間設有至少一個電連接所需的組件，因此，相關部件并不總是能夠相互對準以實現(xiàn)觸點接通，從而使這種電檢測裝置的可靠性受到質疑。因此，值得注意的是，接觸頭與觸點間距轉換器僅僅是物理電接觸，而觸點間距轉換器與線路基板也僅僅是物理電接觸。

發(fā)明內容

因此，本發(fā)明的目的在于，提供一種用于檢測電試樣的電檢測裝置，該檢測裝置具有高度的接觸可靠性和功能可靠性，從而能夠準確地檢測電試樣。

本發(fā)明的目的通過如下方式實現(xiàn)：至少一個穿過所述線路基板的間隔裝置與所述觸點間距轉換器機械連接，并通過傾斜調節(jié)裝置固定于所述第一加強裝置上。當給予一個高的檢測接觸密度時，作用于所述線路基板上的總的物理接觸力可以非常大。為避免由于上述接觸力導致線路基板的機械變形，第一加強裝置被裝在所述線路基板上。為了實現(xiàn)接觸頭和線路基板之間的無故障物理電連接——兩者之間布置觸點間距轉換器以及其它可能的電連接裝置(連接器)——本發(fā)明規(guī)定，觸點間距轉換器(空間轉換器)相對于線路基板的傾斜度可調。為此，設置了傾斜調節(jié)裝置，該調節(jié)裝置通過至少一個穿過所述線路基板并與所述觸點間距轉換器機械連接的間隔裝置調節(jié)傾斜度。特別是設置了一個傾斜元件，該傾斜元件通過所述至少一個穿過線路基板的間隔裝置與所述觸點間距轉換器機械連接，并通過所述傾斜調節(jié)裝置固定于所述第一加強裝置上，并且傾斜度為可調的。因此，所述加強裝置和傾斜元件組成了一個由所述間隔裝置操縱的剛性結構，所述線路基板設置于這兩個部分之間。然而，由于所述線路基板被所述至少一個間隔裝置穿過，傾斜板的傾斜轉動通過所述間隔裝置，使觸點間距轉換器產(chǎn)生相應的運動，但線路基板的位置不會因此而改變。所述至少一個間隔裝置優(yōu)選無物理接觸地穿過所述電路板上的至少一個孔。為能使傾斜元件能夠相對于所述線路基板傾斜，傾斜元件通過傾斜調節(jié)裝置被固定于第一加強裝置上，而所述第一加強裝置與所述線路基板連接且不可移動。如果傾斜元件相對于所述第一加強裝置傾斜，這將引起觸點間距轉換器(也稱為空間轉換器)相對于所述線路基板出現(xiàn)相應的傾斜運動。無論本發(fā)明的具體實施例中是否具有傾斜元件，觸點間距轉換器的基準面均相對于線路基板的基準面調整傾斜度。通過這種方式，觸點間距轉換器與線路基板可以以正確的方式相互對準，從而在檢測頭的觸針和電試樣(晶片)之間實現(xiàn)良好的接觸，同時，保證了與線路基板——必要時中間布置電連接裝置(連接器)——的良好接觸。

根據(jù)本發(fā)明的一個實施形式，所述間隔裝置穿過所述第一加強裝置。這樣，間隔裝置就延伸到第一加強裝置上遠離線路基板的一側，從而使那里能夠設置傾斜調節(jié)裝置。

根據(jù)本發(fā)明的另一個實施形式，線路基板具有第一觸點表面，該觸點表面通過接觸裝置連接于觸點間距轉換器的對向觸點表面。這里所述的接觸裝置即前述的電連接裝置，也稱連接器。該接觸裝置與線路基板的第一觸點表面物理接觸，同時與觸點間距轉換器的對向觸點表面物理接觸。

如果接觸裝置能夠補償線路基板與觸點間距轉換器之間由于傾斜調節(jié)而造成的角度偏差，這將是有利的。為此，接觸裝置具有靈活的結構，這樣，當在線路基板的基準面與觸點間距轉換器的基準面之間進行傾斜調節(jié)時，接觸裝置保持著與所述線路基板的第一觸點表面之間以及觸點間距轉換器的對向觸點表面之間的物理接觸。