[發明專利]單腔雙電極放電腔及準分子激光器

無效

• 申請號: 201210053057.9
• 申請日: 2012-03-02
• 公開（公告）號: CN102810810A
• 公開（公告）日: 2012-12-05
• 發明（設計）人: 王宇;周翊;丁金濱;劉斌;張立佳;趙江山;沙鵬飛
• 申請（專利權）人: 中國科學院光電研究院
• 主分類號: H01S3/03
• 分類號: H01S3/03;H01S3/23
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 宋焰琴

1.一種單腔雙電極放電腔，包括腔體(1)和兩套主放電電極，其特征在于：

所述腔體(1)包括左右兩室，以形成對稱的雙室結構腔形，每個室的截面形狀均為上小下大的形狀，所述左右兩室在整個放電腔的對稱面處交界并連通；

所述兩套主放電電極分別位于左右兩室，且其放電區(2)分別位于所述左右兩室的上部。

2.如權利要求1所述的單腔雙電極放電腔，其特征在于：

所述每套主放電電極都包括一個陽極(6)和一個陰極(3)，所述陽極(6)與所述陰極(3)的放電表面之間形成一個放電區(2)。

3.如權利要求2所述的單腔雙電極放電腔，其特征在于：

所述陰極(3)安裝在一個絕緣板(5)上，所述絕緣板(5)吊裝在所述左右兩室的頂端；

所述陽極(6)固定在一個陽極基座(14)上，所述陽極基座固定在所述腔體(1)上，其位置使得所述陽極(6)與所述陰極(3)平行且正對。

4.如權利要求3所述的單腔雙電極放電腔，其特征在于：

還包括壓條(9)和峰化電容(10)，所述峰化電容(10)用于放電儲能；

所述絕緣板(5)通過所述壓條(9)與放電腔進行固定；

所述壓條(9)位于所述絕緣板(5)的外側，并與峰化電容(10)的一端連通，與所述腔體(1)構成接地回路。

5.如權利要求4所述的單腔雙電極放電腔，其特征在于：

所述峰化電容的另一端通過金屬導電條(21)與一個高壓脈沖電源(4)相連。

6.如權利要求1所述的單腔雙電極放電腔，其特征在于：

還包括預電離裝置，該預電離裝置位于所述主放電電極的兩側。

7.如權利要求6所述的單腔雙電極放電腔，其特征在于：

所述預電離裝置具有兩套，其分別位于所述每套主放電電極的兩側。

8.如權利要求6所述的單腔雙電極放電腔，其特征在于：

所述預電離裝置具有一套，其位于上游放電區(2)主放電電極的兩側。

9.如權利要求6所述的單腔雙電極放電腔，其特征在于：

所述預電離裝置包括上下兩部分，每個部分都包括一個陶瓷管(7)和一個預電離電極(8)，且所述預電離電極(8)位于所述陶瓷管(7)的內部。

10.如權利要求6所述的單腔雙電極放電腔，其特征在于：

所述上部預電離裝置的陶瓷管(7)通過一個絕緣體(17)與所述陰極(3)固定，下部預電離裝置的陶瓷管(7)通過一個絕緣體(20)與所述陽極(6)固定。

11.如權利要求2所述的單腔雙電極放電腔，其特征在于：

每個所述陽極(6)通過一組銅片(13)與放電腔的腔體(1)連接。

12.如權利要求1所述的單腔雙電極放電腔，其特征在于：

還包括驅動所述放電腔內的氣體的風機系統。

13.如權利要求1所述的單腔雙電極放電腔，其特征在于：

還包括對所述放電腔進行散熱的散熱系統。

14.如權利要求1所述的單腔雙電極放電腔，其特征在于：

還包括對所述放電腔內的氣體進行除塵的除塵系統。

15.如權利要求1所述的單腔雙電極放電腔，其特征在于：

還包括對所述放電腔進行降噪處理的降噪系統。

16.一種單腔雙電極MOPA激光器，其特征在于：

包括權利要求1-15中的任一項所述的單腔雙電極放電腔。

17.一種單腔雙電極MOPO激光器，其特征在于：

包括權利要求1-15中的任一項所述的單腔雙電極放電腔。

18.一種單腔雙電極MOPRA激光器，其特征在于：

包括權利要求1-15中的任一項所述的單腔雙電極放電腔。