[發明專利]非絕緣型功率模塊及其封裝工藝有效
| 申請號: | 201210052588.6 | 申請日: | 2012-02-22 |
| 公開(公告)號: | CN103295920A | 公開(公告)日: | 2013-09-11 |
| 發明(設計)人: | 鄭軍;周錦源;賀東曉;王濤 | 申請(專利權)人: | 江蘇宏微科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/50 | 分類號: | H01L21/50;H01L21/56;H01L25/16;H01L23/34;H01L23/28 |
| 代理公司: | 中國專利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 李家麟;王忠忠 |
| 地址: | 213022 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 絕緣 功率 模塊 及其 封裝 工藝 | ||
1.一種非絕緣型功率模塊200的封裝工藝,它包含:
步驟(1),即定位步驟:將功率模塊芯片220安裝到銅基板210的指定位置處;
步驟(2),即第一焊接步驟:將所述功率模塊芯片220與所述銅基板210焊接在一起;
步驟(3),即密封步驟:將焊接有所述功率模塊芯片220的所述銅基板210與外殼280安裝在一起,并采用密封膠270進行密封以形成密封結構;以及
步驟(4),即固化步驟:采用環氧樹脂290,封裝由所述密封步驟形成的所述密封結構,從而形成所述非絕緣型功率模塊200。
2.如權利要求1所述的非絕緣型功率模塊200的封裝工藝,其特征在于,所述步驟(2)是在真空狀態下進行的。
3.如權利要求1或2所述的非絕緣型功率模塊200的封裝工藝,其特征在于,在完成步驟(2)之后且在開始步驟(3)之前還可以包括第二焊接步驟:在所述功率模塊芯片220上,將門極電極230焊接到所述功率模塊芯片230上,并且使所述門極電極230從所述環氧樹脂290中裸露出來。
4.如權利要求3所述的非絕緣型功率模塊200的封裝工藝,其特征在于,在完成步驟(4)之后,還包含外觀處理步驟:將所述外殼280上從所述環氧樹脂290中裸露出的門極電極230打彎成型。
5.如權利要求1所述的非絕緣型功率模塊200的封裝工藝,其特征在于,所述功率模塊是晶閘管模塊、二極管模塊、IGBT模塊或MOSFET模塊。
6.一種非絕緣型功率模塊200,它包含:
銅基板210;
位于所述銅基板210指定位置處的功率模塊芯片220;
從所述功率模塊芯片220引出的門極電極230;以及
外殼280,用于罩蓋所述銅基板210、門極電極230和所述功率模塊芯片220;
其中,所述功率模塊芯片220直接焊接在所述銅基板210上,所述門極電極230焊接在所述功率模塊芯片220上。
7.如權利要求6所述的非絕緣型功率模塊200,其特征在于,
其中,所述功率模塊芯片220、所述門極電極230、所述銅基板210以及所述外殼280采用硅凝膠270密封,在所述硅凝膠270上采用環氧樹脂290固化封裝,以形成密封結構。
8.如權利要求7所述的非絕緣型功率模塊200,其特征在于,所述門極電極230從所述環氧樹脂290中引出。
9.如權利要求8所述的非絕緣型功率模塊200,其特征在于,所述門極電極230被打彎成型。
10.如權利要求6至8中任一權利要求所述的非絕緣型功率模塊200,其特征在于,所述非絕緣型功率模塊200中的芯片220之間采用鋁絲鍵合在起來。
11.如權利要求6所述的非絕緣型功率模塊200,其特征在于,所述銅基板的厚度為3毫米。
12.如權利要求6所述的非絕緣型功率模塊,其特征在于,所述功率模塊是晶閘管模塊、二極管模塊、IGBT模塊或MOSFET模塊。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





