[發(fā)明專利]基于光強(qiáng)探測(cè)的集成光波導(dǎo)微腔傳感器

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210052575.9
• 申請(qǐng)日: 2012-03-02
• 公開（公告）號(hào): CN102636456A
• 公開（公告）日: 2012-08-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張曉光;吳遠(yuǎn)大;王玥;張家順;安俊明;王紅杰;李建光;胡雄偉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所
• 主分類號(hào): G01N21/41
• 分類號(hào): G01N21/41
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 湯保平

1.一種基于光強(qiáng)探測(cè)的集成光波導(dǎo)微腔傳感器，包括：

一第一3dB光分束器，包括一輸入波導(dǎo)、一第一輸出波導(dǎo)和一第二輸出波導(dǎo)；

一第二3dB光分束器，包括一光輸入波導(dǎo)、一第一光輸出波導(dǎo)和一第二光輸出波導(dǎo)，所述第二3dB光分束器的光輸入波導(dǎo)與第一3dB光分束器的第二輸出波導(dǎo)連接；

一傳感微腔，其一側(cè)與第二3dB光分束器的第一光輸出波導(dǎo)耦合；

一樣品槽，其用于容置傳感微腔；

一2×1光合束器，包括一第一輸入光波導(dǎo)、一第二輸入光波導(dǎo)和一輸出光波導(dǎo)，所述2×1光合束器的第一輸入光波導(dǎo)與傳感微腔的另一側(cè)耦合；

一參考微腔，其一側(cè)與第二3dB光分束器的第二光輸出波導(dǎo)耦合，另一側(cè)與2×1光合束器的第二輸入光波導(dǎo)耦合；

所述2×1光合束器的輸出光波導(dǎo)的輸出光強(qiáng)與第一3dB光分束器的第一輸出波導(dǎo)的輸出光強(qiáng)的比值作為最終的傳感信號(hào)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于光強(qiáng)探測(cè)的集成光波導(dǎo)微腔傳感器，其中第一3dB光分束器、第二3dB光分束器和2×1光合束器是Y分支型、多模干涉型或者定向耦合型。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于光強(qiáng)探測(cè)的集成光波導(dǎo)微腔傳感器，其中傳感微腔和參考微腔是微環(huán)、微盤、微球或光子晶體微腔。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于光強(qiáng)探測(cè)的集成光波導(dǎo)微腔傳感器，其中傳感微腔與第二3dB光分束器的第一光輸出波導(dǎo)的耦合是基于倏逝波耦合，其耦合方式為橫向耦合或者垂直耦合。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于光強(qiáng)探測(cè)的集成光波導(dǎo)微腔傳感器，其中傳感微腔與2×1光合束器的第一輸入光波導(dǎo)的耦合是基于倏逝波耦合，其耦合方式為橫向耦合或者垂直耦合。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于光強(qiáng)探測(cè)的集成光波導(dǎo)微腔傳感器，其中參考微腔與第二3dB光分束器的第二光輸出波導(dǎo)的耦合是基于倏逝波耦合，其耦合方式為橫向耦合或者垂直耦合。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于光強(qiáng)探測(cè)的集成光波導(dǎo)微腔傳感器，其中參考微腔與2×1光合束器的第二輸入光波導(dǎo)的耦合是基于倏逝波耦合，其耦合方式為橫向耦合或者垂直耦合。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的基于光強(qiáng)探測(cè)的集成光波導(dǎo)微腔傳感器，其中用于制作該微腔傳感器的材料是SOI、有機(jī)物或者硅基二氧化硅。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的基于光強(qiáng)探測(cè)的集成光波導(dǎo)微腔傳感器，其中所述的連接是光波導(dǎo)連接。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于光強(qiáng)探測(cè)的集成光波導(dǎo)微腔傳感器，其中該參考微腔與傳感微腔的自由頻譜寬度不同。