[發明專利]一種不導電金屬膜層鍍膜玻璃及其制備方法無效
| 申請號： | 201210052542.4 | 申請日： | 2012-03-02 |
| 公開（公告）號： | CN102584033A | 公開（公告）日： | 2012-07-18 |
| 發明（設計）人： | 趙青南;董玉紅 | 申請（專利權）人： | 江蘇秀強玻璃工藝股份有限公司 |
| 主分類號： | C03C17/36 | 分類號： | C03C17/36 |
| 代理公司： | 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 223800 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 導電 金屬膜 鍍膜 玻璃 及其 制備 方法 | ||
1.一種不導電金屬膜層鍍膜玻璃，其特征在于該玻璃是用磁控濺射方法從玻璃表面依次向外，在玻璃表面上層疊狀鍍制顏色調整膜、不導電金屬膜、氮化物保護膜；不導電金屬膜的方塊電阻為5～270兆歐，鍍膜玻璃的可見光透射率為20%～42%。
2.?根據權利要求1所述的不導電金屬膜層鍍膜玻璃，其特征在于，所述的顏色調整膜是用錫靶材氧化反應濺射沉積的二氧化錫膜層；不導電金屬膜是用硅鋁合金靶材濺射沉積孤島狀結構的硅鋁膜層；氮化物保護膜是用硅靶材氮化反應濺射沉積的氮化硅保護膜層。
3.根據權利要求1或2所述的不導電金屬膜層鍍膜玻璃，其特征在于，顏色調整膜層、硅鋁合金膜層和保護膜層的厚度分別為：10～90納米、5～30納米、10～30納米。
4.一種如權利要求1所述的不導電金屬膜層鍍膜玻璃的制備方法，其特征在于該制備方法依次為以下步驟：
1）.?對待鍍膜玻璃用電阻大于13兆歐的去離子水清洗，風刀進行干燥；
2）.?工作氣壓為0.30～0.25Pa，用Ar和O2反應濺射沉積，其中，體積比Ar/O2=3:1～3:2，在玻璃基片上鍍制顏色調整層二氧化錫；
3）.?工作氣壓為0.30～0.35Pa，用Ar作為工作氣體，在顏色調整層上鍍制硅鋁合金不導電膜；
4）.?工作氣壓為0.30～0.25Pa，用Ar和N2反應濺射沉積，其中，體積比Ar/?N2=0.7:1～3:1，在硅鋁合金不導電膜上鍍制氮化硅保護膜。
5.根據權利要求4所述的不導電金屬膜層鍍膜玻璃的制備方法，其特征在于所述顏色調整膜層，改變其厚度，鍍膜玻璃的反射光能顯示銀灰、金黃或藍色。
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