[發明專利]成膜裝置

有效

• 申請號: 201210051972.4
• 申請日: 2012-03-01
• 公開（公告）號: CN102653852A
• 公開（公告）日: 2012-09-05
• 發明（設計）人: 飯尾逸史;伊藤秀彥
• 申請（專利權）人: 住友重機械工業株式會社
• 主分類號: C23C14/00
• 分類號: C23C14/00
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 胡建新

1.一種成膜裝置，其在被成膜材料上進行成膜材料的成膜，其特征在于，具備有：

成膜室，容納所述被成膜材料并進行成膜處理；

傳送構件，設置在所述成膜室的內部，傳送所述被成膜材料；

窗部，設置在劃分所述成膜室的壁部上且具有透射光的透射部，可實現光從所述成膜室的外部向內部的投射；

檢測構件，設置在所述成膜室的外部，使感測光透射所述窗部的所述透射部來投射，從而檢測所述成膜室的內部有無所述被成膜材料；及

沉積抑制構件，抑制所述成膜材料向所述透射部的沉積。

2.如權利要求1所述的成膜裝置，其特征在于，

所述沉積抑制構件使附著于所述透射部的成膜材料蒸發，并且抑制所述成膜材料向所述透射部的附著。

3.如權利要求1或2所述的成膜裝置，其特征在于，

所述沉積抑制構件具備有加熱所述透射部的加熱部。

4.如權利要求3所述的成膜裝置，其特征在于，

所述加熱部設置在比所述壁部更靠所述成膜室的內部的一側。

5.如權利要求4所述的成膜裝置，其特征在于，

所述窗部具備筒狀部，所述筒狀部設置在比所述壁部更靠所述成膜室的內部的一側，并且使所述感測光通過空心部，

在所述筒狀部的所述空心部設置有所述透射部，

所述加熱部被設置為包圍所述筒狀部的所述端部的側面和所述透射部。

6.如權利要求3所述的成膜裝置，其特征在于，

所述加熱部設置在比所述壁部更靠所述成膜室的外部的一側。

7.如權利要求6所述的成膜裝置，其特征在于，

所述窗部具備筒狀部，所述筒狀部設置在比所述壁部更靠所述成膜室的外部的一側，并且使所述感測光通過空心部，

在所述筒狀部的所述空心部設置有所述透射部，

所述加熱部被設置為包圍所述筒狀部的所述端部的側面和所述透射部。

8.如權利要求1所述的成膜裝置，其特征在于，

所述窗部具備：

筒體，所述筒體設置在比所述透射部更靠所述成膜室的內部的一側并具有使所述感測光通過的空心部；及

第2透射部，設置在所述空心部內，透射所述感測光，

所述透射部通過所述筒體和所述第2透射部而與漂浮有所述成膜材料的空間隔開，

所述第2透射部被設置為可相對于所述筒體自如地裝卸。

9.如權利要求1或2所述的成膜裝置，其特征在于，

所述成膜材料為硒。