[發(fā)明專利]一種光束線同步光位置在線診斷系統(tǒng)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210051741.3
• 申請日: 2012-03-01
• 公開（公告）號: CN102591228A
• 公開（公告）日: 2012-07-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 胡純;張招紅
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院上海應(yīng)用物理研究所
• 主分類號: G05B19/04
• 分類號: G05B19/04;G01J1/42
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司 31002
• 代理人: 鄧琪

1.一種光束線同步光位置在線診斷系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)包括：

聯(lián)動控制模塊；

通過網(wǎng)絡(luò)與所述聯(lián)動控制模塊連接的運動控制模塊，其根據(jù)所述聯(lián)動控制模塊輸出的控制信號，控制外圍絲掃描設(shè)備依次移動至預(yù)設(shè)數(shù)量的位置點；

光電流采集模塊，其根據(jù)所述聯(lián)動控制模塊輸出的控制信號采集所述絲掃描設(shè)備所在的當(dāng)前位置點的光電流數(shù)據(jù)；以及

通過網(wǎng)絡(luò)分別與所述光電流采集模塊以及聯(lián)動控制模塊連接的操作終端，其一方面分析所述光電流采集模塊采集的光電流數(shù)據(jù)，并根據(jù)分析結(jié)果診斷同步光位置，另一方面控制所述聯(lián)動控制模塊的啟動和停止。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光束線同步光位置在線診斷系統(tǒng)，其特征在于，所述光電流采集模塊包括：

電流電壓轉(zhuǎn)換器，其感應(yīng)并放大所述絲掃描設(shè)備所在的當(dāng)前位置點的光電流信號；

與所述電流電壓轉(zhuǎn)化器連接的模數(shù)轉(zhuǎn)換器，其將所述光電流信號轉(zhuǎn)換為所述光電流數(shù)據(jù)；以及

與所述模數(shù)轉(zhuǎn)換器連接的遠(yuǎn)程輸入輸出控制器，其將所述光電流數(shù)據(jù)傳輸至所述網(wǎng)絡(luò)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光束線同步光位置在線診斷系統(tǒng)，其特征在于，所述聯(lián)動控制模塊包括數(shù)據(jù)記錄單元，其獲取并記錄所述光電流采集模塊輸出的光電流數(shù)據(jù)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光束線同步光位置在線診斷系統(tǒng)，其特征在于，所述操作終端包括用于診斷同步光位置的數(shù)據(jù)分析模塊以及控制所述聯(lián)動控制模塊的啟停控制模塊。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光束線同步光位置在線診斷系統(tǒng)，其特征在于，所述操作終端還包括與所述數(shù)據(jù)分析模塊連接的圖形生成模塊，其根據(jù)所述分析結(jié)果生成光強分布圖。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光束線同步光位置在線診斷系統(tǒng)，其特征在于，所述操作終端還包括參數(shù)設(shè)置模塊，其向所述聯(lián)動控制模塊輸出運動控制參數(shù)。

7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的光束線同步光位置在線診斷系統(tǒng)，其特征在于，所述操作終端還包括用于存儲所述位置點的信息以及相應(yīng)的光電流數(shù)據(jù)的存儲器。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光束線同步光位置在線診斷系統(tǒng)，其特征在于，所述網(wǎng)絡(luò)為以太網(wǎng)。