[發明專利]一種同時測量腐蝕坑體積、面積、深度的方法

有效

• 申請號: 201210050724.8
• 申請日: 2012-02-29
• 公開（公告）號: CN102692184A
• 公開（公告）日: 2012-09-26
• 發明（設計）人: 蔡寧;鞠新華;溫娟
• 申請（專利權）人: 首鋼總公司
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00;G01B11/28;G01B11/22;G01B11/24
• 代理公司: 北京華誼知識產權代理有限公司 11207
• 代理人: 劉月娥

1.一種同時測量腐蝕坑體積、面積、深度的方法，其特征在于，采用激光共焦顯微鏡測量，工藝步驟為：

(1)試樣截取：樣品要求重量為1g～10kg，長度5～200mm，寬度5～150mm，高度5～70mm，待觀測表面應平整，同一視場內樣品表面最大高度差不超過10mm；

(2)表面氧化產物的去除：采用1∶1體積的鹽酸水溶液腐蝕，至氧化產物去除干凈，然后用酒精超聲清洗3分鐘，用吹風機吹干；

(3)顯微照相：打開激光共焦顯微鏡，將待觀測樣品置于載物臺上，先選擇5倍物鏡，粗調焦，使能較清楚成像；在5倍物鏡下選擇待觀測區域；選好區域后，將物鏡放大倍數逐漸調高，分別為10倍、20倍、50倍，每次改變放大倍數均需進一步調焦，使能在普通光源下較清楚成像；在50倍下，采用激光共焦成像模式，調整光強、焦距以便清楚顯示，設定掃描高度范圍，使腐蝕坑能全部包含在內，采用固定步長模式掃描，掃描步長設為0.04～0.05μm，然后進行3D掃描，獲得3D影像并保存；

(4)數據測量：

腐蝕坑的體積、面積、表面積測量；設置圖像以3D模式顯示，選擇體積測量，設置圖像閾值，使要測量部分全部被選上；用閉合曲線將測量的腐蝕坑圈上，獲得所選擇的腐蝕坑的體積、面積、表面積數據，保存數據以及圖像；

腐蝕坑的深度測量；選擇臺階測量，調整測量線位置，使其位于腐蝕坑最深處，分別點擊腐蝕坑底部和未腐蝕的表面，顯示所選兩點之間的高度差，即腐蝕坑深度，記錄數據及圖像；在腐蝕坑最深處附近調整5個以上不同位置，測量結果，選擇其中的最大值作為該腐蝕坑的深度。