[發明專利]壓電振動片及其制造方法、壓電振動器、振蕩器、電子設備及電波鐘

無效

• 申請號: 201210050411.2
• 申請日: 2012-02-24
• 公開（公告）號: CN102651638A
• 公開（公告）日: 2012-08-29
• 發明（設計）人: 色川大城
• 申請（專利權）人: 精工電子有限公司
• 主分類號: H03H3/02
• 分類號: H03H3/02;H03H9/02;G04C9/02
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 何欣亭;朱海煜

1.一種壓電振動片的制造方法，利用由壓電材料所形成的圓片來制造壓電振動片，其特征在于，包括：

外形形成工序，通過光刻技術對所述圓片進行蝕刻以形成壓電板的外形形狀；

電極形成工序，在所述壓電板的外表面上構圖電極膜以形成一對電極，

該電極形成工序包括：

在所述壓電板的表面成膜電極膜的電極膜形成工序；

在所述電極膜上成膜光刻膠膜的光刻膠膜形成工序；

通過用于光刻膠圖案而配置了第一開口部的掩模對所述光刻膠膜進行曝光的第一曝光工序；以及

通過在與所述第一開口部的一部分相重合的位置配置了第二開口部的校正掩模進一步對所述光刻膠膜進行曝光的第二曝光工序，

與所述一對電極的間隙相對應的所述第二開口部的開口寬度小于等于與所述間隙相對應的所述第一開口部的開口寬度。

2.如權利要求1所述的壓電振動片的制造方法，其特征在于：

在進行所述外形形成工序時形成具有如下部分的壓電板的外形形狀：平行配置的一對振動臂部；將該一對振動臂部一體地進行固定的基部；以及在所述一對振動臂部的主表面上從該振動臂部的基端部朝向前端部呈縱長狀所形成的槽部，

所述一對電極具有形成于所述槽部內的主面電極部；和形成于所述振動臂部側面上的側面電極部，

所述一對電極的間隙就是所述主面電極部和所述側面電極部的間隙。

3.如權利要求1或者2所述的壓電振動片的制造方法，其特征在于：

所述第二開口部的所述開口寬度大于等于所述第一開口部的所述開口寬度的0.6倍且小于等于其0.7倍。

4.如權利要求1所述的壓電振動片的制造方法，其特征在于：

在進行所述外形形成工序時形成具有平行配置的一對振動臂部和將該一對振動臂部一體地進行固定的基部的壓電板的外形形狀，

在與所述一對振動臂部的叉部相當的區域，所述第一開口部的所述開口寬度與所述第二開口部的所述開口寬度大致相同。

5.一種壓電振動片，其特征在于：

通過權利要求1到權利要求4中任意一項所述的壓電振動片的制造方法而制造。

6.一種壓電振動器，其特征在于：

具有權利要求5所述的壓電振動片。

7.一種振蕩器，其特征在于：

權利要求6所述的壓電振動器作為振子與集成電路電連接。

8.一種電子設備，其特征在于：

權利要求6所述的壓電振動器與計時部電連接。

9.一種電波鐘，其特征在于：

權利要求6所述的壓電振動器與濾波部電連接。