[發(fā)明專利]測量浮柵器件的耦合系數(shù)的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210049220.4
• 申請日: 2012-02-28
• 公開（公告）號: CN102593026A
• 公開（公告）日: 2012-07-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張雄;尹曉冉
• 申請（專利權(quán)）人: 上海宏力半導(dǎo)體制造有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 駱蘇華

1.一種測量浮柵器件的耦合系數(shù)的方法，其特征在于，包括：

提供半導(dǎo)體襯底；所述半導(dǎo)體襯底表面形成有柵極結(jié)構(gòu)，所述柵極結(jié)構(gòu)包括相互分立的第一子?xùn)艠O結(jié)構(gòu)和第二子?xùn)艠O結(jié)構(gòu)，且兩者通過層間介質(zhì)層隔離，其中，所述第一子?xùn)艠O結(jié)構(gòu)包括位于層間介質(zhì)層表面的第一絕緣層、位于所述第一絕緣層表面的浮柵、位于所述浮柵表面的第二絕緣層、以及位于所述第二絕緣層表面的控制柵；所述第二子?xùn)艠O結(jié)構(gòu)包括位于層間介質(zhì)層表面的第三絕緣層和位于所述第三絕緣層表面的選擇柵；所述柵極結(jié)構(gòu)兩側(cè)的半導(dǎo)體襯底內(nèi)形成有源區(qū)和漏區(qū)；

對控制柵、選擇柵、源區(qū)、半導(dǎo)體襯底所對應(yīng)的端口進行兩兩測量，獲得保持對應(yīng)的柵致漏電流不變的情況下，所對應(yīng)的兩個端口的電壓變化量之間的關(guān)系式；

根據(jù)所述多個關(guān)系式，得到控制柵、選擇柵、源區(qū)、半導(dǎo)體襯底分別與浮柵之間的耦合系數(shù)。

2.如權(quán)利要求1所述的測量浮柵器件的耦合系數(shù)的方法，其特征在于，所述對控制柵、選擇柵、源區(qū)、半導(dǎo)體襯底所對應(yīng)的端口進行兩兩測量的方法包括：

將選擇柵和半導(dǎo)體襯底置于浮空狀態(tài)，在控制柵和源區(qū)所對應(yīng)的端口施加電壓，測量第一柵致漏電流，分別調(diào)整施加于控制柵和源區(qū)所對應(yīng)端口的電壓，獲得保持第一柵致漏電流不變時，控制柵所對應(yīng)的端口的電壓變化量與源區(qū)所對應(yīng)的端口的電壓變化量之間的第一關(guān)系式：V_控×CR₁+V_源1×CR₄＝0，其中，V_控為控制柵所對應(yīng)的端口的電壓變化量，V_源1為相應(yīng)的源區(qū)所對應(yīng)端口的電壓變化量，CR₁為控制柵與浮柵間的耦合系數(shù)，CR₄為源區(qū)與浮柵間的耦合系數(shù)；

在控制柵所對應(yīng)的端口施加恒定電壓，同時在選擇柵和源區(qū)所對應(yīng)的端口施加電壓，測量第二柵致漏電流，分別調(diào)整施加于選擇柵和源區(qū)所對應(yīng)端口的電壓，獲得保持第二柵致漏電流不變時，選擇柵所對應(yīng)端口的電壓變化量與源區(qū)所對應(yīng)端口的電壓變化量之間的第二關(guān)系式：V_選×CR₂+V_源2×CR₄＝0，其中，V_選為選擇柵所對應(yīng)的端口的電壓變化量，V_源2為相應(yīng)的源區(qū)所對應(yīng)端口的電壓變化量，CR₂為選擇柵與浮柵間的耦合系數(shù)；

在控制柵所對應(yīng)的端口施加恒定電壓，在半導(dǎo)體襯底和源區(qū)所對應(yīng)的端口施加電壓，測量第三柵致漏電流，分別調(diào)整施加于半導(dǎo)體襯底和源區(qū)所對應(yīng)的端口的電壓，獲得保持第三柵致漏電流不變時，半導(dǎo)體襯底對應(yīng)端口的電壓變化量與源區(qū)所對應(yīng)端口電壓變化量間的第三關(guān)系式：V_襯底×CR₃+V_源3×CR₄＝0，其中，V_襯底為半導(dǎo)體襯底所對應(yīng)的端口的電壓變化量，V_源3為相應(yīng)的源區(qū)所對應(yīng)端口的電壓變化量，CR₃為半導(dǎo)體襯底與浮柵間的耦合系數(shù)。

3.如權(quán)利要求2所述的測量浮柵器件的耦合系數(shù)的方法，其特征在于，所述恒定電壓為0V或者1～2V。

4.如權(quán)利要求2所述的測量浮柵器件的耦合系數(shù)的方法，其特征在于，對控制柵、選擇柵、源區(qū)、半導(dǎo)體襯底所對應(yīng)的端口施加的電壓為-2～-4V。

5.如權(quán)利要求2所述的測量浮柵器件的耦合系數(shù)的方法，其特征在于，還包括第四關(guān)系式：CR₁+CR₂+CR₃+CR₄＝1。

6.如權(quán)利要求1所述的測量浮柵器件的耦合系數(shù)的方法，其特征在于，還包括：第一導(dǎo)電插塞，與所述源極相連；第二導(dǎo)電插塞，與所述漏極相連；字線，與所述第二子?xùn)艠O結(jié)構(gòu)電連接，用于選擇相應(yīng)的存儲單元；位線，與所述第二導(dǎo)電插塞電連接、且與所述字線垂直，用于讀寫信息到所述存儲單元。