[發明專利]用于中紅外分布反饋光柵制備的全息曝光光路調整方法

有效

• 申請號: 201210049218.7
• 申請日: 2012-02-28
• 公開（公告）號: CN102540475A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發明（設計）人: 李耀耀;李愛珍;張永剛;丁惠鳳;李好斯白音;曹遠迎
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海微系統與信息技術研究所
• 主分類號: G02B27/09
• 分類號: G02B27/09;G02B26/08;G02B27/46
• 代理公司: 上海泰能知識產權代理事務所 31233
• 代理人: 宋纓;孫健

1.一種用于中紅外分布反饋光柵制備的全息曝光光路調整方法，其特征在于，包括以下步驟：

(1)通過兩個高反鏡調整全息曝光系統的入射激光的光路，使入射激光進入全息曝光系統；

(2)通過一個反射鏡確定入射激光器在曝光平臺另一側的入射點和入射角度，利用反射鏡確定的入射點和入射角度作為參考，調整空間濾波器和準直透鏡，得到一束擴束的平行光；

(3)調整置片臺，通過置片臺的安裝，使擴束后的平行光分為兩束相干、平行的光束，兩光束在置片臺上通過干涉形成明暗相間的條紋。

2.根據權利要求1所述的用于中紅外分布反饋光柵制備的全息曝光光路調整方法，其特征在于，所述步驟(1)還包括以下子步驟：

(11)調整第一高反鏡的高度，使第一高反鏡的中心位置對準激光器的出射點；然后調整第二高反鏡的高度以決定全息曝光系統的入射光的高度；

(12)調整第一高反鏡的角度，使激光器的出射激光經第一高反鏡后入射到第二高反鏡的中心位置；

(13)調整第二高反鏡的角度，使經過第二高反鏡反射的激光平行于全息曝光平臺。

3.根據權利要求1所述的用于中紅外分布反饋光柵制備的全息曝光光路調整方法，其特征在于，所述步驟(2)還包括以下子步驟：

(21)在相對第二高反鏡的另一側放置反射鏡，調整反射鏡的高度，使入射激光入射到反射鏡的中心位置，標記入射點；然后調整反射鏡的角度，使反射光的光路和入射光的光路重合，固定反射鏡；

(22)調整空間濾波器的高度和位置，使入射激光完全進入空間濾波器的透鏡中；然后調整小孔和透鏡的距離，使經空間濾波器的出射光成為均勻放大的光斑；在空間濾波器前方，出射光斑的中心位置放一個光闌，使光闌的中心和出射光斑的中心重合，均勻的光束經光闌后形成一較細的光束；調整空間濾波器的水平方向和垂直方向的傾角，使出射光斑經光闌后入射到反射鏡上，入射位置和反射鏡上標記的入射點重合，且經過反射鏡的反射光和入射光光路重合；

(23)確定準直透鏡的高度，使準直透鏡位于出射光斑的中心；調整準直透鏡和空間濾波器的距離，使空間濾波器的出射點位于準直透鏡的焦點上，使發散的出射光斑經透鏡后成為均勻、準直的平行光束；使光闌中心和透鏡中心重合，均勻的平行光束經光闌后形成一較細的光束；微調準直透鏡，使平行光束經光闌后入射到反射鏡上，入射位置和反射鏡標記的原系統入射激光的入射點重合，且經過反射鏡的反射光和入射光光路重合。

4.根據權利要求1所述的用于中紅外分布反饋光柵制備的全息曝光光路調整方法，其特征在于，所述步驟(3)包括以下子步驟：

(31)在置片臺一側裝有一個第三高反鏡，第三高反鏡和置片臺相互垂直，將置片臺旋轉90°，使第三高反鏡垂直于入射光束；調整置片臺的傾斜角度，使經過光闌的光束垂直入射到第三高反鏡上，入射光和反射光重合；

(32)調整置片臺的位置，在垂直于入射光的方向上水平移動，使入射光束一半入射到高反鏡上，一半入射到置片臺上，調節置片臺的旋轉角度，使入射到置片臺的物光和經高反鏡反射到置片臺的參考光在置片臺上干涉，形成明暗相間的條紋。