[發(fā)明專利]液體噴射頭及其制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210048283.8
• 申請日: 2012-02-28
• 公開（公告）號: CN102673156A
• 公開（公告）日: 2012-09-19
• 發(fā)明（設計）人: 渡邊誠;田川義則;村山裕之;千田充;永井正隆
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: B41J2/16
• 分類號: B41J2/16;B41J2/14
• 代理公司: 北京魏啟學律師事務所 11398
• 代理人: 魏啟學

1.一種液體噴射頭的制造方法，所述液體噴射頭包括噴射口構件，所述噴射口構件具有沿排列方向設置的用于噴射液體的多個噴射口，所述方法包括：

準備設置有樹脂層的基板，其中所述樹脂層含有光固化性樹脂；

執(zhí)行第一曝光處理和第二曝光處理，其中所述第一曝光處理和所述第二曝光處理均是使所述樹脂層進行曝光的曝光處理；以及

在進行了所述第一曝光處理和所述第二曝光處理的所述樹脂層中形成所述噴射口，

其中，所述噴射口的通過所述第一曝光處理所形成的側壁相對于所述基板的傾斜角與所述噴射口的通過所述第二曝光處理所形成的側壁相對于所述基板的傾斜角不同。

2.根據(jù)權利要求1所述的液體噴射頭的制造方法，其特征在于，

所述噴射口具有沿與所述排列方向正交的正交方向的側壁；

所述第一曝光處理是如下的處理：使所述樹脂層的與沿所述正交方向的側壁對應的部分進行曝光，使得比值b/a等于或者大于1，其中，“a”表示所述噴射口的正面?zhèn)乳_口的在所述排列方向上的寬度，“b”表示所述噴射口的背面?zhèn)乳_口的在所述排列方向上的寬度；

所述第二曝光處理是如下的處理：使所述樹脂層的與除沿所述正交方向的側壁以外的其他側壁對應的部分進行曝光，使得比值d/c大于1，其中，“c”表示所述噴射口的正面?zhèn)乳_口的在所述正交方向上的寬度，“d”表示所述噴射口的背面?zhèn)乳_口的在所述正交方向上的寬度；并且

所述比值d/c大于所述比值b/a。

3.根據(jù)權利要求1所述的液體噴射頭的制造方法，其特征在于，所述噴射口的沿與所述排列方向垂直的面截取的截面形狀是錐形形狀。

4.根據(jù)權利要求2所述的液體噴射頭的制造方法，其特征在于，所述噴射口的沿與所述正交方向垂直的面截取的截面形狀是錐形形狀或四邊形形狀。

5.根據(jù)權利要求2所述的液體噴射頭的制造方法，其特征在于：

所述寬度a和所述寬度b相應地是所述噴射口的沿與所述正交方向垂直且通過所述噴射口的中心的面截取的截面形狀的上邊寬度和下邊寬度；以及

所述寬度c和所述寬度d相應地是所述噴射口的沿與所述排列方向垂直且通過所述噴射口的中心的面截取的截面形狀的上邊寬度和下邊寬度。

6.一種液體噴射頭，其包括：

基板；以及

設置于所述基板的噴射口構件，所述噴射口構件具有沿排列方向設置的用于噴射液體的多個噴射口，

其中，所述噴射口的沿與所述排列方向正交的正交方向的側壁垂直于所述基板，并且所述噴射口的沿所述排列方向的側壁與所述基板形成銳角。