[發明專利]行進車系統

有效

• 申請號: 201210048074.3
• 申請日: 2010-03-29
• 公開（公告）號: CN102556664A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發明（設計）人: 石橋希遠;村山晉;和田芳幸;大野俊孝
• 申請（專利權）人: 株式會社IHI
• 主分類號: B65G49/06
• 分類號: B65G49/06
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 朱美紅;楊楷

本申請是發明名稱為“行進車系統”、申請日為2010年3月29日并且申請號為20101045538.3的發明專利申請的分案申請。

技術領域

本發明涉及載置收容基板的基板盒而在環狀的軌道上循環行進的行進車系統。本申請基于2009年3月30日在日本提出申請的特愿2009-081661號及2009年3月30日在日本提出申請的特愿2009-081662號主張優先權，這里引用其內容。

背景技術

以往，已知有沿著軌道配置有對在軌道上行進的行進車進行輸送物的取放的輸送物保管擱板的行進車系統(例如參照特開平10-273204號公報)、以及為了對處理輸送物的處理裝置移載輸送物而設有行進車能夠進入的泊位的行進車系統(例如參照特開2001-341640號公報)。

在有關特開平10-273204號公報的行進車系統中，在環狀軌道的中央的內部設有供給站，并且沿著環狀的軌道的側面配置有保管擱板，從兩側將輸送物移載到在行進軌道上行進的行進車上。

此外，在有關特開2001-341640號公報的行進車系統中，在軌道的外側設置用來將行進車停靠在處理裝置上的泊位，在進入到泊位中的行進車與處理裝置之間進行輸送物的裝載、卸載。

在有關特開平10-273204號公報的行進車系統中，保管擱板(立體自動倉庫)構成為高層建筑物。因此，輸送物的收容能力較大，但在從保管擱板的保管部取放輸送物時使用堆裝起重機。

因而，有關特開平10-273204號公報的行進車系統不僅在輸送物的取放中花費時間，而且不具備臨時保管輸送物的緩沖功能，所以輸送效率降低。此外，在有關特開平10-273204號公報的行進車系統中，保管擱板多級、多聯地構成，但由于保管擱板與行進車單獨地構成，所以具有輸送效率變差的問題。

此外，在有關特開2001-341640號公報的行進車系統中，在軌道的外側，設有用來將行進車停靠在處理裝置的裝載、卸載位置的泊位(空間)。因此，在有關特開2001-341640號公報的行進車系統中，對行進車的移載花費時間，具有行進車的輸送效率降低的問題。

發明內容

本發明是鑒于上述情況而做出的，目的是提供一種能夠提高設備的省空間化和無人行進臺車的輸送效率的行進車系統。

有關本發明的第1技術方案為了解決上述問題而具備以下的機構。

第1技術方案具備：基板處理裝置，實施基板的保管或規定的處理；無人行進臺車，具有使上述基板在收容在基板盒中的狀態下沿上下方向升降的升降部以及將上述基板盒朝向上述基板處理裝置水平移動的水平移動部，將上述基板盒沿著朝向上述基板處理裝置設置的軌道輸送；基板盒保管部，在上述軌道的上方保持并保管基板盒。

有關本發明的第2技術方案在上述第1技術方案中，上述無人行進臺車在上述升降部及上述水平移動部的上方具備保管上述基板盒的臺車上基板盒保管部。

根據本發明，由于在軌道上方設有基板盒保管部，所以能夠實現行進車系統整體的省空間化。進而，能夠縮短基板盒相對于行進車的移載時間、提高無人行進臺車的輸送效率及準備時間。

此外，根據本發明，在上述基板盒上設有被保持部件，在上述基板盒保管部上設有卡合到上述被保持部件上的保持部件。

由此，能夠容易且可靠地將基板盒載置到基板盒保管部上。

此外，根據本發明，上述保持部件能夠沿上下方向或水平方向移動而構成。

由此，能夠容易或高效率地將基板盒保持到基板盒保管部上。

此外，根據本發明，使上述無人行進臺車在上述基板盒保管部的下方停止；使上述升降部與上述水平移動部協同動作，將上述基板盒保持在上述基板盒保管部上。

此外，根據本發明，使上述無人行進臺車的行進部與上述升降部，協同動作，將基板盒保持在上述基板盒保管部上。

此外，根據本發明，上述基板盒可多級堆疊地構成。

由此，根據本發明，能夠進一步實現行進車系統整體的省空間化。

此外，根據本發明，卡合到上述被保持部件上的保持部件設在上述臺車上基板盒保管部上。

由此，能夠容易且可靠地將基板盒載置到臺車上基板盒保管部上。

此外，上述保持部件能夠沿上下方向或水平方向移動而構成。

由此，能夠容易或高效率地將基板盒保持在臺車上基板盒保管部上。

此外，根據本發明，將沒有收容上述基板的空的基板盒保持在上述臺車上基板盒保管部上。由此，能夠實現行進車系統整體的高效率的運用。

附圖說明