[發(fā)明專利]鐠摻雜鈦酸鹽發(fā)光薄膜、制備方法及其應(yīng)用

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210047881.3
• 申請(qǐng)日: 2012-02-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103289690A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-09-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周明杰;王平;陳吉星;黃輝
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): C09K11/67
• 分類號(hào): C09K11/67;H01L33/26;H01L33/00
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 何平

1.一種鐠摻雜鈦酸鹽發(fā)光薄膜，其特征在于：其化學(xué)表達(dá)式為MeTi_1-xO₃:xPr³⁺，其中MeTi_1-xO₃是基質(zhì)，Pr元素是激活元素，0.01≤x≤0.08，Me為Mg、Ca、Sr或Ba。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鐠摻雜鈦酸鹽發(fā)光薄膜，其特征在于，所述鐠摻雜鈦酸鹽發(fā)光薄膜的厚度為80nm～300nm。

3.一種鐠摻雜鈦酸鹽發(fā)光薄膜的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

將襯底裝入化學(xué)氣相沉積設(shè)備的反應(yīng)室，并將反應(yīng)室的真空度設(shè)置為1.0×10^-2Pa～1.0×10^-3Pa；

調(diào)節(jié)襯底的溫度為250℃～650℃，轉(zhuǎn)速為50轉(zhuǎn)/分鐘～1000轉(zhuǎn)/分鐘，在氬氣氣流的載體下，根據(jù)MeTi_1-xO₃:xPr³⁺各元素的化學(xué)計(jì)量比將(DPM)₂Me，四異丙醇鈦和Pr(DPM)₃通入反應(yīng)室內(nèi)；及

通入氧氣，進(jìn)行化學(xué)氣相沉積得到化學(xué)表達(dá)式為MeTi_1-xO₃:xPr³⁺的鐠摻雜鈦酸鹽發(fā)光薄膜，其中MeTi_1-xO₃是基質(zhì)，Pr元素是激活元素，0.01≤x≤0.08，Me為Mg、Ca、Sr或Ba。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的鐠摻雜鈦酸鹽發(fā)光薄膜的制備方法，其特征在于，所述(DPM)₂Me，四異丙醇鈦和Pr(DPM)₃的摩爾比為1∶(0.92～0.99)∶(0.01～0.08)。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的鐠摻雜鈦酸鹽發(fā)光薄膜的制備方法，其特征在于，所述氬氣氣流量為5～15sccm，所述氧氣氣流量為10～200sccm。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的鐠摻雜鈦酸鹽發(fā)光薄膜的制備方法，其特征在于，將所述襯底裝入所述反應(yīng)室后將所述襯底在600℃～800℃下熱處理10分鐘～30分鐘。

7.一種薄膜電致發(fā)光器件，包括依次層疊的襯底、陽(yáng)極層、發(fā)光層以及陰極層，其特征在于，所述發(fā)光層為鐠摻雜鈦酸鹽發(fā)光薄膜，該鐠摻雜鈦酸鹽發(fā)光薄膜的化學(xué)表達(dá)式為MeTi_1-xO₃:xPr³⁺，其中MeTi_1-xO₃是基質(zhì)，Pr元素是激活元素，0.01≤x≤0.08，Me為Mg、Ca、Sr或Ba。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的薄膜電致發(fā)光器件的制備方法，其特征在于，所述發(fā)光層的厚度為80nm～300nm。?

9.一種薄膜電致發(fā)光器件的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

提供具有陽(yáng)極的襯底；

在所述陽(yáng)極上形成發(fā)光層，所述發(fā)光層為鐠摻雜鈦酸鹽發(fā)光薄膜，該鐠摻雜鈦酸鹽發(fā)光薄膜的化學(xué)表達(dá)式為MeTi_1-xO₃:xPr³⁺，其中MeTi_1-xO₃是基質(zhì)，Pr元素是激活元素，0.01≤x≤0.08，Me為Mg、Ca、Sr或Ba；及

在所述發(fā)光層上形成陰極。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的薄膜電致發(fā)光器件的制備方法，其特征在于，所述發(fā)光層的制備包括以下步驟：

將襯底裝入化學(xué)氣相沉積設(shè)備的反應(yīng)室，并將反應(yīng)室的真空度設(shè)置為1.0×10^-2Pa～1.0×10^-3Pa；

調(diào)節(jié)襯底的溫度為250℃～650℃，轉(zhuǎn)速為50轉(zhuǎn)/分鐘～1000轉(zhuǎn)/分鐘，在氬氣氣流的載體下，根據(jù)MeTi_1-xO₃:xPr³⁺各元素的化學(xué)計(jì)量比將(DPM)₂Me，四異丙醇鈦和Pr(DPM)₃通入反應(yīng)室內(nèi)，氬氣氣流量為5～15sccm；及

通入氧氣，氧氣氣流量為10～200sccm；進(jìn)行化學(xué)氣相沉積薄膜在所述陽(yáng)極上形成發(fā)光層。?