[發明專利]一種提高電阻測試精度的方法無效
| 申請號： | 201210047387.7 | 申請日： | 2012-02-28 |
| 公開（公告）號： | CN102565538A | 公開（公告）日： | 2012-07-11 |
| 發明（設計）人： | 趙敏;尹彬鋒;周柯 | 申請（專利權）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | G01R27/14 | 分類號： | G01R27/14 |
| 代理公司： | 上海新天專利代理有限公司 31213 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 提高 電阻 測試 精度 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種提高電阻測試精度的方法，其特征在于，測試方法的步驟如下：
步驟一，將導線連接待測電阻兩端并通過數字電壓表進行對電阻兩端的第一次測量并測量出第一電壓值V；
步驟二，對導線連接的所述電阻施加一個電流I；
步驟三，通過所述數字電壓表進行對電阻兩端的第二次測量并測出第二電壓值V’；
步驟四，將所述第二電壓值V’減去第一電壓值V之后所得的電壓值再除以所述電流I，最后得到所述電阻的阻值。
2.根據權利要求1所述的測試精度的方法，其特征在于，所述第一電壓值V與第二電壓值V’均在同一片晶圓的同一個所述電阻上進行的。
3.根據權利要求1所述的測試精度的方法，其特征在于，所述導線與所述電阻為串聯連接。
4.根據權利要求1所述的測試精度的方法，其特征在于，所述測試精度的方法是用于消除測試系統自身引入的噪音對待測電阻的阻值測試精度所造成的偏差。
5.根據權利要求1所述的測試精度的方法，其特征在于，測量出第一電壓值V是在所述待測電阻不施加電流時對應的電壓。
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