[發(fā)明專利]勻光器及其制作方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201210046574.3 | 申請日： | 2012-02-24 |
| 公開（公告）號： | CN103293677A | 公開（公告）日： | 2013-09-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 謝長青;翁永超;朱效立;高南;劉明 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學(xué)院微電子研究所 |
| 主分類號： | G02B27/09 | 分類號： | G02B27/09;G02B5/18;G02B27/42;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯長明;王寶筠 |
| 地址： | 100029 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 勻光器 及其 制作方法 | ||
1.一種勻光器，為多個環(huán)帶光子篩單元組成的陣列，其特征在于，所述環(huán)帶光子篩單元包括波帶片和所述波帶片的不透光環(huán)帶上隨機分布的透光孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的勻光器，其特征在于，所述陣列的大小不小于入射的光束的孔徑。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的勻光器，其特征在于，所述波帶片的每一個環(huán)帶的中心半徑為rn、寬度為wn，其中，rn2＝2nfλ+n2λ2，wn＝λ/2rn，λ為入射光的波長，f為環(huán)帶光子篩單元的焦距。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的勻光器，其特征在于，所述透光孔的直徑等于該透光孔所在環(huán)帶的寬度。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的勻光器，其特征在于，所述波帶片由透光基底及其上覆蓋的環(huán)帶的不透光膜組成，透光孔為環(huán)帶的不透光膜上的通孔。
6.一種勻光器的制造方法，其特征在于，包括：
提供透光襯底；
在所述透光襯底上覆蓋不透光膜；
圖案化所述不透光膜，以形成透光環(huán)帶和不透光環(huán)帶間隔組成的波帶片以及所述不透光環(huán)帶上隨機分布的透光孔。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的制造方法，其特征在于，所述不透光膜為不透光金屬膜。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的制造方法，其特征在于，采用接觸式光刻法進行圖案化。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的制造方法，其特征在于，所述波帶片的每一個環(huán)帶的中心半徑為rn、寬度為wn，其中，rn2＝2nfλ+n2λ2，wn＝λ/2rn，λ為入射光的波長，f為環(huán)帶光子篩單元的焦距。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的制造方法，其特征在于，所述透光孔的直徑等于該透光孔所在環(huán)帶的寬度。
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