[發明專利]基于全金屬布拉格反射層的薄膜體聲波諧振器結構

無效

• 申請號: 201210045734.2
• 申請日: 2012-02-27
• 公開（公告）號: CN102571027A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發明（設計）人: 張家琦;黃永文;吳愛華;董樹榮
• 申請（專利權）人: 浙江瑞能通信科技有限公司
• 主分類號: H03H9/25
• 分類號: H03H9/25;H03H9/64;H03H9/02
• 代理公司: 浙江永鼎律師事務所 33233
• 代理人: 王梨華;陳麗霞

1.基于全金屬布拉格反射層的薄膜體聲波諧振器結構，其特征在于：包括天線（131）、薄膜體聲波諧振器雙工器或多工器（132）、低噪聲放大器（133）、抑制發射信號濾波器（134）、接收端衰減器（135）、發射端衰減器（138）、功率放大器一（136）和功率放大器二（137），天線（131）連接在薄膜體聲波諧振器雙工器或多工器（132）上，薄膜體聲波諧振器雙工器或多工器（132）的一端連接到低噪聲放大器（133）的一端，低噪聲放大器（133）的另一端連接到抑制發射信號濾波器（134）的一端，抑制發射信號濾波器（134）的另一端連接到接收端衰減器（135）。

2.根據權利要求1所述的基于全金屬布拉格反射層的薄膜體聲波諧振器結構，其特征在于：薄膜體聲波諧振器雙工器或多工器（132）由多個發射鏈路和接收鏈路組成，每路接收鏈路或發射鏈路由三個或三個以上的薄膜體聲波諧振器器件組（100）和一段四分之一傳輸線（128）組成，每個薄膜體聲波諧振器器件組（100）是由多個薄膜體聲波諧振器器件（101）組成，薄膜體聲波諧振器器件（101）與薄膜體聲波諧振器器件（101）之間的連接為串聯、并聯或交叉連接的網絡結構，以實現濾波功能，每個薄膜體聲波諧振器器件（101）由兩個或兩個以上薄膜體聲波諧振器并聯組成。

3.根據權利要求2所述的基于全金屬布拉格反射層的薄膜體聲波諧振器結構，其特征在于：薄膜體聲波諧振器包括襯底（112）、全金屬布拉格反射層（109）、下電極（105）、壓電薄膜（107）、上電極（106），從上到下是上電極（106）、壓電薄膜（107）、下電極（105）、全金屬布拉格反射層（109）和襯底（112）。

4.根據權利要求3所述的基于全金屬布拉格反射層的薄膜體聲波諧振器結構，其特征在于：全金屬布拉格反射層（109）由高聲阻抗層（111）與低聲阻抗層（110）交替疊合而成，其總層數為4-8層，高聲阻抗層（111）和低聲阻抗層（110）的標稱厚度等于頻率與該薄膜體聲波諧振器器件（101）的諧振頻率相等的聲信號在相應全金屬布拉格反射層（109）的材料中的波長的四分之一，高聲阻抗層（111）和低聲阻抗層（110）的材料具有大于80?W/m·K的熱導率，高聲阻抗層（111）的材料為鉬、鎘或釕，低聲阻抗層（110）的材料為鋁或鋅。

5.根據權利要求4所述的基于全金屬布拉格反射層的薄膜體聲波諧振器結構，其特征在于：所述的薄膜體聲波諧振器雙工器或多工器（132）中所有薄膜體聲波諧振器共用全金屬布拉格反射層（109）和壓電薄膜（107）。

6.根據權利要求4所述的基于全金屬布拉格反射層的薄膜體聲波諧振器結構，其特征在于：所述全金屬布拉格反射層（109）的標稱厚度是頻率與諧振頻率相等的聲信號在該全金屬布拉格反射層（109）的材料中波長λn的四分之一的奇數倍。

7.根據權利要求1所述的基于全金屬布拉格反射層的薄膜體聲波諧振器結構，其特征在于：薄膜體聲波諧振器雙工器或多工器（132）是由薄膜體聲波諧振器制成的雙工器或多工器。