[發明專利]一種新型的垂直磁記錄介質軟磁性底層用合金靶材FeCoTaZr的制造方法

無效

• 申請號: 201210045459.4
• 申請日: 2012-02-27
• 公開（公告）號: CN102560219A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發明（設計）人: 周俊;袁澤中;李應國;王萍
• 申請（專利權）人: 湖南中精倫金屬材料有限公司
• 主分類號: C22C30/00
• 分類號: C22C30/00;C22C1/02;H01F1/147
• 代理公司: 暫無信息
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1.一種新型的垂直磁記錄介質軟磁性底層用合金靶材FeCoTaZr的制造方法，其特征是，該方法包括下述步驟：

（1）合金靶材的元素重量比含量范圍為：?Fe38%—45%；Co23.2%—30.2%；Ta（25.4±0.5）%；Zr（6.4±0.5）%，按所設計的合金靶材的元素含量計算所需的Fe、Co、Ta、Zr四種元素的重量；

（2）根據（1）步所需的Fe、Co、Ta、Zr四種元素的重量，取純度均在99.95%或以上的四種元素Fe、Co、Ta、Zr為原材料；

（3）將（2）步所取的原材料放入坩堝中，進行真空熔煉并澆注成鑄錠；熔煉時真空度在10-1Pa或以上，采用高溫精煉和低溫精煉相結合的方法，高溫精煉溫度控制在1500℃—1600℃范圍內，用于提純金屬，排雜質，低溫精煉控制在1350℃—1450℃范圍內，用于排放氣體，避免氣孔存在；澆注溫度控制在1450℃—1550℃范圍內，澆鑄過程中開啟電磁攪拌器，參數為：電流160A、頻率50HZ、功率16KW，澆注到模具中形成鈷鐵鉭鋯的鑄錠坯料；

（4）將（3）步所得鑄錠坯料機加工成所需形狀的靶材。

2.根據權利要求1所述的一種新型的垂直磁記錄介質軟磁性底層用合金靶材FeCoTaZr的制造方法，其特征在于，合金靶材的元素重量比含量范圍為：Fe38%—45%；Co23.2%—30.2%；Ta（25.4±0.5）%；Zr（6.4±0.5)%。

3.根據權利要求1所述的一種新型的垂直磁記錄介質軟磁性底層用合金靶材FeCoTaZr的制造方法，其特征在于，高溫精煉溫度為1500℃—1600℃，低溫精煉為1350℃—1450℃。

4.根據權利要求1所述的一種新型的垂直磁記錄介質軟磁性底層用合金靶材FeCoTaZr的制造方法，其特征在于，澆注溫度為1450℃—1550℃。

5.根據權利要求1所述的一種新型的垂直磁記錄介質軟磁性底層用合金靶材FeCoTaZr的制造方法，其特征在于，在澆注中采用的電磁攪拌工藝。