[發明專利]半導體精密薄片金剛石砂線切割液及其制備方法

有效

• 申請號: 201210045299.3
• 申請日: 2012-02-27
• 公開（公告）號: CN102618376A
• 公開（公告）日: 2012-08-01
• 發明（設計）人: 陸由東;鄭虎祥;吳偉峰;蔣勇
• 申請（專利權）人: 常州君合科技有限公司
• 主分類號: C10M173/02
• 分類號: C10M173/02;C10M161/00;C10N30/06;C10N30/04;C10N30/12;C10N40/00
• 代理公司: 常州市維益專利事務所 32211
• 代理人: 賈海芬

1.一種半導體精密薄片金剛石砂線切割液，其特征在于：其原料由如下質量份數比的組分組成，包括

其中：所述的多元醇為丙二醇與聚乙二醇以1～1∶2的混合物，且聚乙二醇的分子量在100～600之間。

2.根據權利要求1所述的半導體精密薄片金剛石砂線切割液，其特征在于：所述氫氣抑制劑為十八碳烯酸、十三醇、甘油、異壬酸、鄰苯二甲酸、醇醚羧酸或聚醚的其中一種或任意兩種以上的混合物。

3.根據權利要求1所述的半導體精密薄片金剛石砂線切割液，其特征在于：所述的酸劑為水楊酸、氨基磺酸、乙二酸、檸檬酸、山梨酸、苯甲酸中的一種或任意兩種以上的混合物。

4.根據權利要求1所述的半導體精密薄片金剛石砂線切割液，其特征在于：所述的表面活性劑為烷基醇酰胺、脂肪醇聚氧乙烯醚或烷基酚聚氧乙烯醚的其中一種或任意兩種以上的混合物。

5.根據權利要求1所述的半導體精密薄片金剛石砂線切割液，其特征在于：所述的分散劑為乙二醇單丁醚、乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、二乙二醇丁醚、異丙醇、乙醚、乙二醇或乙醇的其中一種或任意兩種以上的混合物。

6.根據權利要求1所述的半導體精密薄片金剛石砂線切割液，其特征在于：所述的防腐劑為三嗪、山梨酸鉀、吡啶硫酮鈉、羥苯丙酯或羥苯甲酯其中一種或任意兩種以上的混合物。

7.一種制備權利1所述半導體精密薄片金剛石砂線切割液的方法，其特征在于：按以下步驟進行，

(1)、將丙二醇與聚乙二醇以至于1∶1～2放入容器內進行混合，

(2)、將去離子水到入容器后，充分攪拌溶解，丙二醇和聚乙二醇的混合物溶解后制得基礎溶液；

(3)將氫氣抑制劑、表面活性劑、分散劑和防腐劑加入至基礎溶液內，充分攪拌溶解，再加入酸劑將混合溶液的pH值控制在5.5～6.5，在各組分全部溶解后靜置30分鐘，即得半導體精密薄片金剛石砂線切割液。