[發明專利]一種PECVD用的雙面電極孔石墨舟

無效

• 申請號: 201210044321.2
• 申請日: 2012-02-24
• 公開（公告）號: CN102534564A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發明（設計）人: 袁衛華;易文杰;呂文利;賈京英;楊彬
• 申請（專利權）人: 湖南紅太陽光電科技有限公司
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458;C23C16/46;C23C16/50
• 代理公司: 長沙正奇專利事務所有限責任公司 43113
• 代理人: 馬強

1.一種PEC?VD用的雙面電極孔的石墨舟，包括與電極桿(1)相連的石墨舟本體，其特征是，所述石墨舟本體由位于奇數次的奇電極板(2)、位于偶數次的偶電極板(3)、上電極中間隔塊(4)、下電極中間隔塊(5)、對稱下電極中間隔塊(6)、電極隔塊(8)和石墨舟腳(9)組成，所述石墨舟本體兩端均開有兩個電極孔，且每一端的兩個電極孔中，其中，位于上部的電極孔均設置在位于石墨舟本體兩端的上電極中間隔塊(4)上，下部電極孔分別設置在所述下電極中間隔塊(5)與對稱下電極中間隔塊(6)上，該下電極中間隔塊(5)與對稱下電極中間隔塊(6)分別設在石墨舟本體的兩端；所述石墨舟本體兩端的兩個電極孔之間的距離相等。

2.根據權利要求1所述的PECVD用的雙面電極孔的石墨舟，其特征是，所述石墨舟本體一端通過上電極中間隔塊(4)和對稱下電極中間隔塊(6)，電極隔塊(8)和石墨舟腳(9)分隔奇電極板(2)和偶電極板(3)，另一端通過上電極中間隔塊(4)和下電極中間隔塊(5)，電極隔塊(8)和石墨舟腳(9)分隔奇電極板(2)和偶電極板(3)。

3.根據權利要求1所述的PECVD用的雙面電極孔的石墨舟，其特征是，所述電極孔分別設在上電極中間隔塊(4)、下電極中間隔塊(5)和對稱下電極中間隔塊(6)上。

4.根據權利要求1～3之一所述的PECVD用的雙面電極孔的石墨舟，其特征是，所述四個電極孔的孔徑相同，每個電極孔包括錐狀的導向孔和與該導向孔相連圓孔。