[發明專利]可調諧窄帶紫外激光發生裝置及其發生方法

無效

• 申請號: 201210044070.8
• 申請日: 2012-02-24
• 公開（公告）號: CN102570311A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發明（設計）人: 婁秀濤;袁承勛;瑞小川;張治國;吳少華
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工業大學
• 主分類號: H01S5/40
• 分類號: H01S5/40;H01S5/06
• 代理公司: 哈爾濱市松花江專利商標事務所 23109
• 代理人: 牟永林

1.一種可調諧窄帶紫外激光發生裝置，它包括第一二極管激光器(1)，其特征在于：它還包括光柵(2)、光柵調整架(3)、光柵控制器(4)、第一反射鏡(5)、鋸齒波發生器(6)、第二二極管激光器(7)、第二反射鏡(8)、二向色鏡(9)、透鏡組(10)、BBO晶體(11)、凸透鏡(12)、三角棱鏡(13)和光闌(14)，

光柵(2)設置在光柵調整架(3)上，光柵調整架(3)的姿態由光柵控制器(4)控制，

第一二極管激光器(1)發出的激光束入射至光柵(2)，光柵(2)的反射光束經第一反射鏡(5)反射后入射至二向色鏡(9)的正面，

鋸齒波發生器(6)的電壓信號輸出端連接第二二極管激光器(7)的電壓信號輸入端，第二二極管激光器(7)發出的激光束經第二反射鏡(8)反射后入射至二向色鏡(9)的反面，

二向色鏡(9)正面入射光束的透射光束與二向色鏡(9)反面入射光束的反射光束重疊共線后入射至透鏡組(10)，透鏡組(10)的透射光束入射至BBO晶體(11)，經該BBO晶體(11)透射的激光束經過凸透鏡(12)準直后入射至三角棱鏡(13)，經三角棱鏡(13)折射的光束垂直入射至光闌(14)的中心孔。

2.根據權利要求1所述的可調諧窄帶紫外激光發生裝置，其特征在于：第一二極管激光器(1)的激光源為法布里柏羅型單橫模、多縱模激光二極管，其發射光束的中心波長為370nm～470nm。

3.根據權利要求1或2所述的可調諧窄帶紫外激光發生裝置，其特征在于：第二二極管激光器(7)的激光源為分布式反饋型或分布布拉格反射型單縱模激光二極管，其發射光束的中心波長為635nm～1550nm。

4.根據權利要求3所述的可調諧窄帶紫外激光發生裝置，其特征在于：透鏡組(10)由依次排列的第一凸透鏡(10-1)、凹透鏡(10-2)和第二凸透鏡(10-3)組成，該第一凸透鏡(10-1)、凹透鏡(10-2)和第二凸透鏡(10-3)的光軸共線，第一凸透鏡(10-1)的焦距絕對值為f1，凹透鏡(10-2)的焦距絕對值為f2，第一凸透鏡(10-1)和凹透鏡(10-2)的中心距離b為：b＝f1-f2；

入射至透鏡組(10)的平行光束首先入射至第一凸透鏡(10-1)，并經第一凸透鏡(10-1)匯聚至凹透鏡(10-2)，經該凹透鏡(10-2)透射后形成的平行光束入射至第二凸透鏡(10-3)，經該第二凸透鏡(10-3)聚焦后獲得的匯聚光束作為透鏡組(10)的透射光束入射至BBO晶體(11)。

5.根據權利要求4所述的可調諧窄帶紫外激光發生裝置，其特征在于：所述BBO晶體(11)的光入射面的中心位于第二凸透鏡(10-3)的焦點處。

6.根據權利要求5所述的可調諧窄帶紫外激光發生裝置，其特征在于：所述光闌(14)的中心孔的中心與經三角棱鏡(13)折射獲得的紫外光束的光斑中心重合。

7.根據權利要求6所述的可調諧窄帶紫外激光發生裝置，其特征在于：所述光闌(14)的中心孔的內徑為3mm～5mm，光闌(14)側壁的徑向厚度為r，光柵(2)的刻線間距為d，并且2d＜r＜4d。

8.根據權利要求7所述的可調諧窄帶紫外激光發生裝置，其特征在于：所述第一二極管激光器(1)發出的激光束入射至光柵(2)的入射角為θ，10°＜θ＜80°。