[發(fā)明專利]一種應(yīng)用于光伏透明導(dǎo)電玻璃的電磁磁控濺射法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210043957.5
• 申請日: 2012-02-26
• 公開（公告）號: CN103290375A
• 公開（公告）日: 2013-09-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 周文彬;劉幼海;劉吉人
• 申請（專利權(quán)）人: 吉富新能源科技(上海)有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種應(yīng)用于光伏透明導(dǎo)電玻璃的電磁磁控濺射法，該玻璃基板放入真空環(huán)境中并加熱，該靶源永久磁鐵外圍設(shè)有4組環(huán)繞的高電流電磁場，而形成電磁磁場以拉伸等離子體放電區(qū)，以濺射出具高動能氧化物粒子，又該氧化物粒子沉積披覆于玻璃基板上；同時玻璃基板完全浸入拉伸的等離子體區(qū)內(nèi)，而使氧化物粒子在玻璃基板形成結(jié)晶，且藉由該電磁磁場，其帶電粒子具有比一般磁場更高動能，同時又可藉由調(diào)整電流的方式調(diào)控電磁磁場大小，進(jìn)而可增加玻璃基板成膜速度及易于形成排列組合整齊之結(jié)晶結(jié)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1項所述之一種應(yīng)用于光伏透明導(dǎo)電玻璃的電磁磁控濺射法，其中該氧化物靶源可為氧化物靶材。

3.根據(jù)權(quán)利要求第1項所述之一種應(yīng)用于光伏透明導(dǎo)電玻璃的電磁磁控濺射法，其中該加熱溫度為100℃~150℃。