[發(fā)明專利]超高真空窗口

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210043115.X
• 申請日: 2012-02-24
• 公開（公告）號: CN102540381A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉洪力;徐震;尹士奇;洪濤;王育竹
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所
• 主分類號: G02B7/00
• 分類號: G02B7/00;G02B7/02;G02B1/11
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 張澤純

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及超高真空設(shè)備，特別是一種適用于超高真空系統(tǒng)的超高真空通光窗口。

背景技術(shù)

在磁光阱超高真空系統(tǒng)中，要求窗口具有較高的透過率，以獲得較高的冷卻功率，因此要求超高真空窗口鍍增透膜。而市場上銷售的超高真空窗口通常不鍍膜，但是對成品窗口鍍膜工藝復(fù)雜、質(zhì)量難以達(dá)到要求且鍍膜成本高、靈活性不強。而將玻璃基片鍍好膜后用銦封制作的超高真空窗口，由于銦的熔點較低，使得裝有超高真空窗口的真空系統(tǒng)不能高溫烘烤，整個真空系統(tǒng)的真空度難以達(dá)到要求，且銦封窗口存在制作工藝復(fù)雜，成品率低，易損壞等原因。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是為特殊通光要求的超高真空系統(tǒng)提供一種超高真空窗口，該超高真空窗口制作簡單、快捷、方便、低成本、可操作性強、結(jié)構(gòu)比較靈活。

本發(fā)明的技術(shù)解決方案如下：

一種超高真空窗口，包括一個法蘭，其特征在于還包括一個圓筒和一塊圓形的窗口玻璃板，所述的圓筒的一端和所述的法蘭密封相連，該圓筒的另一端與所述的窗口玻璃板密封相連。

所述的法蘭為具有金屬刀口和通孔內(nèi)臺階的法蘭。

所述的圓筒采取金屬材料制作成一端具有周邊臺階的圓筒，所述的圓筒及其周邊臺階與所述的法蘭的內(nèi)部結(jié)構(gòu)相配合，該圓筒的另一端具有內(nèi)周沿臺階，供所述的窗口玻璃板安置封裝。

所述的圓筒的內(nèi)壁具有內(nèi)螺紋，供所述的窗口玻璃板和卡環(huán)安裝。

所述的圓形的窗口玻璃板鍍有通光波長的增透膜。

所述的圓形的窗口玻璃板為平凸透鏡。

本發(fā)明的技術(shù)效果：

本發(fā)明超高真空窗口通過法蘭盤安裝于超高真空系統(tǒng)上，為超高真空系統(tǒng)提供一個高透射率的觀測、通光窗口。

本發(fā)明超高真空窗口為超高真空系統(tǒng)可提供一個快捷、方便、低成本、制作簡單、靈活的超高真空窗口。

附圖說明

圖1是本發(fā)明超高真空窗口的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是圖1超高真空窗口的剖視圖。

具體實施方式

下面結(jié)合實施例和附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步說明，但不應(yīng)以此限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。

先請參閱圖1、圖2，圖1是本發(fā)明超高真空窗口的結(jié)構(gòu)示意圖，圖2是圖1超高真空窗口的剖視圖，由圖可見，本發(fā)明超高真空窗口包括一個法蘭1，一個圓筒2和一塊圓形的窗口玻璃板3，所述的圓筒2的一端和所述的法蘭1密封相連，該圓筒2的另一端與所述的窗口玻璃板3密封相連。本實施例中法蘭1為具有金屬刀口和通孔內(nèi)臺階的法蘭。所述的圓筒2采取金屬材料制作成一端具有周邊臺階的圓筒，所述的圓筒2及其周邊臺階與所述的法蘭1的內(nèi)部結(jié)構(gòu)相配合，該圓筒2的另一端具有內(nèi)周沿臺階，供所述的窗口玻璃板3安置封裝。

所述的圓筒2的內(nèi)壁具有內(nèi)螺紋，供所述的窗口玻璃板3和卡環(huán)安裝，卡環(huán)用于固定成像透鏡組或其他零件，也可以依據(jù)特定的使用場合來增加或減小長度、或反向粘貼。

所述的窗口玻璃板3上鍍通光激光的波長的增透膜。

玻璃基板也可以依據(jù)需要做成平凸透鏡。以增加成像系統(tǒng)的視場角。