[發明專利]采用絨面光滑圓整技術的異質結太陽電池清洗制絨方法

有效

• 申請號: 201210042842.4
• 申請日: 2012-02-23
• 公開（公告）號: CN102593268A
• 公開（公告）日: 2012-07-18
• 發明（設計）人: 華夏;李媛媛;彭錚;王巍;李正平;沈文忠;彭德香;溫超
• 申請（專利權）人: 上海中智光纖通訊有限公司
• 主分類號: H01L31/20
• 分類號: H01L31/20;C30B33/10;C23F1/24;C23F1/32
• 代理公司: 上海泰能知識產權代理事務所 31233
• 代理人: 黃志達;謝文凱

1.一種采用絨面光滑圓整技術的異質結太陽電池清洗制絨方法，包括：

(1)將硅片放入體積比為1∶1∶5-1∶1∶10的氨水、雙氧水和去離子水中，在45-85℃下清洗1-10分鐘后取出，完成硅片的初步清洗，之后常溫下去離子水洗；

(2)將上述初步清洗的硅片浸入體積比為1∶2-1∶10的氫氧化鉀溶液和去離子水中，在45-85℃下腐蝕20-120秒后取出，去除鋸齒毛邊，之后常溫下去離子水洗；

(3)將上述去鋸齒后的硅片浸入體積比為3∶3∶1∶5-3∶3∶1∶10的堿性溶液、二甲基丙醇、添加劑和去離子水中，在45-85℃下腐蝕1-5分鐘后取出，蝕刻出四面方錐體結構制絨，結構高度為5-12微米，之后常溫下去離子水洗；

(4)將上述制絨后的硅片再次經步驟(1)完成清洗，放入體積比為1∶2∶3-1∶2∶4的氫氟酸、硝酸或鹽酸和去離子水中，在5-30℃下腐蝕5-30秒后取出，使得絨面光滑圓整，之后常溫下去離子水洗；

(5)將上述絨面光滑圓整后的硅片用體積比為1∶1∶5-1∶1∶10的鹽酸、雙氧水和去離子水進行酸洗，在45-85℃下清洗30-150秒后取出，之后常溫下去離子水洗；

(6)將上述經酸洗的硅片放入體積比為1∶1-1∶9的氫氟酸和去離子水中，在15-35℃下腐蝕10-50秒后取出，去除硅片表面氧化層，之后常溫下去離子水洗；

(7)最后將上述硅片從水中以1-5毫米/秒的速度提拉，于50-100℃烘干。

2.根據權利要求1所述的一種采用絨面光滑圓整技術的異質結太陽電池清洗制絨方法，其特征在于：所述步驟(1)中的氨水的質量分數為10-30％，雙氧水的質量分數為10-40％。

3.根據權利要求1所述的一種采用絨面光滑圓整技術的異質結太陽電池清洗制絨方法，其特征在于：所述步驟(2)中的氫氧化鉀溶液的質量分數為20-50％。

4.根據權利要求1所述的一種采用絨面光滑圓整技術的異質結太陽電池清洗制絨方法，其特征在于：所述步驟(3)中的堿性溶液為氫氧化鉀或氫氧化鈉溶液，質量分數為20-50％。

5.根據權利要求1所述的一種采用絨面光滑圓整技術的異質結太陽電池清洗制絨方法，其特征在于：所述步驟(3)中的添加劑為摻雙氧水的醇類添加劑。

6.根據權利要求1所述的一種采用絨面光滑圓整技術的異質結太陽電池清洗制絨方法，其特征在于：所述步驟(4)中的氫氟酸的質量分數為10-60％，硝酸或鹽酸的質量分數為10-60％。

7.根據權利要求1所述的一種采用絨面光滑圓整技術的異質結太陽電池清洗制絨方法，其特征在于：所述步驟(5)中的鹽酸的質量分數為15-35％，雙氧水的質量分數為15-35％。

8.根據權利要求1所述的一種采用絨面光滑圓整技術的異質結太陽電池清洗制絨方法，其特征在于：所述步驟(6)中的氫氟酸的質量分數為10-50％。