[發明專利]一種分級結構化復合彈性研拋盤無效
| 申請號： | 201210042639.7 | 申請日： | 2012-02-24 |
| 公開（公告）號： | CN102658528A | 公開（公告）日： | 2012-09-12 |
| 發明（設計）人： | 金明生;計時鳴;張利;文東輝;敖海平 | 申請（專利權）人： | 浙江工業大學 |
| 主分類號： | B24D7/14 | 分類號： | B24D7/14;B24D3/20;B24D7/10 |
| 代理公司： | 杭州天正專利事務所有限公司 33201 | 代理人： | 王兵;黃美娟 |
| 地址： | 310014 浙*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 分級 結構 復合 彈性 研拋盤 | ||
【權利要求書】：
1.一種分級結構化復合彈性研拋盤，其特征在于：包含磨料層、粘結層和基體層，所述磨料層通過粘結層粘結于基體層表面，所述基體層與驅動裝置相連。
2.如權利要求1所述的一種分級結構化復合彈性研拋盤，其特征在于：所述磨料層由高硬度的金剛石或氧化鋁等磨料與高聚物膠黏劑、光引發劑等充分攪拌混合，通過結構化“印刷”和光固化處理，粘結于不同基體層表面。
3.如權利要求1或2所述的一種分級結構化復合彈性研拋盤，其特征在于：所述磨料層包含研磨外圈和拋光內圈，所述研磨外圈沿直徑方向由外向內分為粗磨圈、細磨圈和精磨圈，所述粗磨圈、細磨圈、精磨圈和拋光內圈中所包含的磨粒粒度依次減小，磨料配比也有所不同。
4.如權利要求3所述的一種分級結構化復合彈性研拋盤，其特征在于：所述研拋盤設置結構化表面，所述結構化表面由不同組發散狀、圓環狀等不同幾何結構的流道組成。
5.如權利要求4所述的一種分級結構化復合彈性研拋盤，其特征在于：所述粘結層由不同種類的高聚物粘結劑構成。
6.如權利要求5所述的一種分級結構化復合彈性研拋盤，其特征在于：所述基體層由包括橡膠在內的不同復合材料制成。
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