[發明專利]將多單元半導體激光器與光纖的耦合系統

無效

• 申請號: 201210042236.2
• 申請日: 2012-02-22
• 公開（公告）號: CN102590962A
• 公開（公告）日: 2012-07-18
• 發明（設計）人: 林學春;陳凱;侯瑋;郭渭榮;王祥鵬;李晉閩
• 申請（專利權）人: 中國科學院半導體研究所
• 主分類號: G02B6/42
• 分類號: G02B6/42;H01S5/40;H01S5/026
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 湯保平

技術領域

本發明是一種將多單元半導體激光器與光纖的耦合系統，該系統中的反射鏡是由若干個基片疊加在一起，在45°方向切割后鍍高反膜，然后等間距錯開制作而成。該臺階型反射鏡可實現半導體激光器光源高效的空間復合，制作簡單，調整容易，可以實現50瓦級上大功率半導體器與光纖耦合的光源輸出。該反射鏡的制作應用分別屬于光學設計與激光光學領域。

背景技術

利用光學手段對大功率多單元半導體激光器進行光束復合就是一種常用的提高光亮度的方法。常見的非相干多光束復合技術還包括：空間復合、波長復合和偏振復合等等。非相干多光束復合即在保證多束光束的光束質量不變的前提下，將多束光束合為一束，這樣一來，輸出功率提高了數倍，而光束質量基本不變，從而得到高亮度光束輸出。

請參閱圖3，現有技術中的將多單元半導體激光器與光纖的耦合系統，其是采用微型反射鏡的方式，該反射鏡制作成本較高，不易調整，為了降低該類型反射鏡的制作成本，使該系統的光路調節更容易，設計了一種新型的臺階型反射鏡，可大大降低多單元半導體激光器與光纖耦合系統的成本和光路調節難度。

發明內容

本發明的目的在于，提供將多單元半導體激光器與光纖的耦合系統，采用新型空間復合反射鏡，具有制作成本低廉、光路調節容易的優點。

本發明提供一種將多單元半導體激光器與光纖的耦合系統，包括：

第一組半導體激光器；

第一組微型快軸準直鏡，位于第一組半導體激光器的出光光路上；

第一組鍍高反膜疊層基片反射鏡，位于第一組微型快軸準直鏡的光路上，用于反射第一組半導體激光器發出的光；

第二組半導體激光器；

第二組微型快軸準直鏡，位于第二組半導體激光器的出光光路上；

一反射鏡，位于第一組鍍高反膜疊層基片反射鏡反射光路上，用于反射第一組半導體激光器發出的光；

第二組鍍高反膜疊層基片反射鏡，位于第二組微型快軸準直鏡的光路上，用于反射第二組半導體激光器發出的光；

一λ/2波片，位于反射鏡的反射光路上；

一偏振分束器，位于λ/2波片之后及第二組鍍高反膜疊層基片反射鏡反射的光路上，將通過反射鏡和第二組鍍高反膜疊層基片反射鏡的光匯聚，形成匯聚光；

一宏觀慢軸準直鏡、一宏觀快軸準直鏡和一光纖，依次位于匯聚光的光路上。

附圖說明

為進一步說明本發明的技術內容，以下結合附圖及實施例對本發明作進一步說明，其中：

圖1本發明采用臺階型反射鏡后多單元大半導體激光器與光纖耦合系統的結構示意圖；

圖2是圖1中第一組和第二組鍍高反膜疊層基片反射鏡的示意圖；

圖3是傳統的多單元大半導體激光器與光纖耦合系統圖。

具體實施方式

請參閱圖1及圖2所示，本發明一種將多單元半導體激光器與光纖的耦合系統，包括：

第一組半導體激光器10；

第一組微型快軸準直鏡20，位于第一組半導體激光器10的出光光路上；

第一組鍍高反膜疊層基片反射鏡20’，位于第一組微型快軸準直鏡20的光路上，用于反射第一組半導體激光器10發出的光；

第二組半導體激光器30；

第二組微型快軸準直鏡40，位于第二組半導體激光器30的出光光路上；

一反射鏡50，位于第一組鍍高反膜疊層基片反射鏡20’反射光路上，用于反射第一組半導體激光器10發出的光，該反射鏡50鍍有反射膜；

第二組鍍高反膜疊層基片反射鏡60，位于第二組微型快軸準直鏡40的光路上，用于反射第二組半導體激光器30發出的光；

一λ/2波片70，位于反射鏡50的反射光路上；

一偏振分束器80，位于λ/2波片70之后及第二組鍍高反膜疊層基片反射鏡60反射的光路上，將通過反射鏡50和第二組鍍高反膜疊層基片反射鏡60的光匯聚，形成匯聚光；

一宏觀慢軸準直鏡90、一宏觀快軸準直鏡91和一光纖92，依次位于匯聚光的光路上。

其中該第一組鍍高反膜疊層基片反射鏡20’和第二組鍍高反膜疊層基片反射鏡60是由多層基片玻璃在45°方向切割拋光后鍍高反膜，然后等間距錯開制作而成，該第一組鍍高反膜疊層基片反射鏡20’和第二組鍍高反膜疊層基片反射鏡60中的多層基片玻璃的數量大于或等于2，該第一組鍍高反膜疊層基片反射鏡20’和第二組鍍高反膜疊層基片反射鏡60的多層基片玻璃的數量相同。