[發明專利]一種模塊化溫度控制裝置有效
| 申請號： | 201210041402.7 | 申請日： | 2012-02-22 |
| 公開（公告）號： | CN103294078A | 公開（公告）日： | 2013-09-11 |
| 發明（設計）人： | 吳飛;龍鵬程;魏巍;袁志揚;張洪博 | 申請（專利權）人： | 上海微電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | G05D23/19 | 分類號： | G05D23/19 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 201203 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 模塊化 溫度 控制 裝置 | ||
1.一種模塊化溫度控制裝置，包括依次連接的具有電泵控制單元的介質驅動電泵、溫度控制單元和多個介質冷卻模塊，其特征在于，所述介質冷卻模塊包括：
相互連接的介質冷卻基板模塊上板和介質冷卻基板模塊下板；
快速連接接頭，設置于所述介質冷卻基板模塊下板的側面，
其中，所述介質冷卻基板模塊下板具有四方雙螺旋型內腔，其四周具有四個流體出入口用于連接所述快速連接接頭。
2.根據權利要求1所述的模塊化溫度控制裝置，其特征在于，還包括歧管連接于所述多個介質冷卻模塊。
3.根據權利要求1所述的模塊化溫度控制裝置，其特征在于，還包括堵塞頭，用于連接所述冷卻模塊不用的流體出入口。
4.根據權利要求1所述的模塊化溫度控制裝置，其特征在于，所述快速連接接頭包括連接公頭和連接母頭。
5.根據權利要求4所述的模塊化溫度控制裝置，其特征在于，所述連接公頭和連接母頭采用插入式連接，并且具有密封功能。
6.根據權利要求1所述的模塊化溫度控制裝置，其特征在于，所述四方雙螺旋型內腔在90度轉角處為圓弧過渡。
7.根據權利要求1所述的模塊化溫度控制裝置，其特征在于，所述四方雙螺旋型內腔的圈數為偶數圈，且介質流入流道和介質流出流道在單位面積內長度相等。
8.根據權利要求7所述的模塊化溫度控制裝置，其特征在于，所述介質流入流道和介質流出流道交替重疊且保持平行，其介質流向相反。
9.根據權利要求1所述的模塊化溫度控制裝置，其特征在于，所述介質為水。
10.根據權利要求1所述的模塊化溫度控制裝置，其特征在于，所述多個介質冷卻模塊的連接方式為串聯、并聯或者混合連接。
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