[發(fā)明專利]硅片邊緣保護(hù)裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210041401.2
• 申請日: 2012-02-22
• 公開（公告）號(hào): CN103293862A
• 公開（公告）日: 2013-09-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳榮基
• 申請（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

1.一種硅片邊緣保護(hù)裝置，其特征在于，包括：

基座；

軸承，具有可相對運(yùn)動(dòng)的外環(huán)與內(nèi)環(huán)，所述內(nèi)環(huán)與所述基座保持相對靜止；

氣缸，具有固定端與活動(dòng)端，所述固定端固定于所述基座；

偏心凸輪盤，與所述軸承的外環(huán)保持相對靜止，所述偏心凸輪盤可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置于所述基座上且連接于所述活動(dòng)端，所述偏心凸輪盤具有至少三個(gè)均勻分布的偏心槽，且每一個(gè)所述偏心槽包括偏心圓弧，所述偏心圓弧的圓心與所述偏心凸輪盤的圓心不一致；

至少三個(gè)凸輪隨動(dòng)器，可活動(dòng)地分別與所述三個(gè)偏心槽對應(yīng)設(shè)置；

至少三個(gè)保護(hù)爪，分別與所述三個(gè)凸輪隨動(dòng)器對應(yīng)連接設(shè)置；

至少三個(gè)線軌，分別對應(yīng)設(shè)置于所述三個(gè)保護(hù)爪上；

至少三個(gè)擋塊，均固定于所述基座；以及

至少三個(gè)導(dǎo)向螺桿，分別對應(yīng)穿設(shè)于所述三個(gè)擋塊內(nèi)；

其中當(dāng)所述氣缸的所述活動(dòng)端作伸縮擺動(dòng)時(shí)，帶動(dòng)所述偏心凸輪盤以所述軸承的外圓柱面為滑動(dòng)軸作圓周運(yùn)動(dòng)，所述三個(gè)偏心槽分別作同步偏心運(yùn)動(dòng)，使得所述三個(gè)凸輪隨動(dòng)器分別帶動(dòng)所述三個(gè)保護(hù)爪沿所述三個(gè)導(dǎo)向螺桿作同步徑向運(yùn)動(dòng)，所述三個(gè)線軌隨所述三個(gè)保護(hù)爪同步運(yùn)動(dòng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片邊緣保護(hù)裝置，其特征在于，所述軸承的內(nèi)環(huán)固定于所述基座，所述軸承的外環(huán)固定于所述偏心凸輪盤。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片邊緣保護(hù)裝置，其特征在于，每一個(gè)所述偏心槽還包括兩個(gè)同心圓弧，分別連接于所述偏心圓弧的兩端，所述兩個(gè)同心圓弧的圓心與所述偏心凸輪盤的圓心重合。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片邊緣保護(hù)裝置，其特征在于，每一個(gè)所述保護(hù)爪成C型，且其一端設(shè)置通孔，另一端為斜面或直面。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片邊緣保護(hù)裝置，其特征在于，所述硅片邊緣保護(hù)裝置還包括吹氣機(jī)構(gòu)，設(shè)置于所述基座。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片邊緣保護(hù)裝置，其特征在于，所述硅片邊緣保護(hù)裝置還包括至少三個(gè)彈簧，分別對應(yīng)套設(shè)于所述三個(gè)導(dǎo)向螺桿上，且分別抵持于所述三個(gè)保護(hù)爪。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片邊緣保護(hù)裝置，其特征在于，所述硅片邊緣保護(hù)裝置還包括至少三個(gè)定心機(jī)構(gòu)，分別對應(yīng)設(shè)置于所述三個(gè)保護(hù)爪，并隨所述三個(gè)保護(hù)爪同步運(yùn)動(dòng)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片邊緣保護(hù)裝置，其特征在于，所述硅片邊緣保護(hù)裝置還包括傳感器，設(shè)置于所述基座。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片邊緣保護(hù)裝置，其特征在于，所述硅片邊緣保護(hù)裝置還包括防塵蓋與鋼珠，所述防塵蓋固定于所述基座且壓合于所述偏心凸輪盤的上方，所述鋼珠設(shè)置于所述防塵蓋內(nèi)。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的硅片邊緣保護(hù)裝置，其特征在于，所述硅片邊緣保護(hù)裝置還包括壓蓋，壓合于所述鋼珠。