[發(fā)明專利]偏光元件的制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210041345.2
• 申請日: 2012-02-21
• 公開（公告）號: CN102681073A
• 公開（公告）日: 2012-09-19
• 發(fā)明（設計）人: 熊井啟友
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G02B5/30
• 分類號: G02B5/30;G02B1/10;C23C14/24;C23C14/06
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 金世煜;苗堃

技術領域

本發(fā)明涉及偏光元件的制造方法。?

背景技術

作為偏光元件的一種已知偏光玻璃。由于偏光玻璃能夠僅由無機物構成，所以與含有機物的偏光板相比較，對光的劣化明顯少。由此，在近年來高亮度化一直發(fā)展的液晶投影儀中，偏光玻璃作為有效的光學器件受到關注。?

作為一般的偏光玻璃公知的有專利文獻1中記載的偏光玻璃，其制造方法如下所述。?

(1)由含有選自氯化物、溴化物及碘化物中的至少一種鹵化物及銀的組合物來制作所希望形狀的玻璃制品。?

(2)將該玻璃制品經足夠在該玻璃制品中使AgCl、AgBr或AgI的結晶生成的時間，加熱到高于應變點但不高于玻璃軟化點約50℃的溫度而制作含有結晶的制品。?

(3)在高于退火點但低于玻璃呈現(xiàn)約108泊的粘度的溫度的溫度下，將該含有結晶的制品在應力下伸長以使結晶以至少5∶1的寬長比伸長。?

(4)將該制品經足夠在該制品上使化學還原表面層擴大的時間，暴露于比約250℃高但不高于玻璃退火點約25℃的溫度的還原氣氛中。由此伸長的鹵化銀粒子的至少一部分被還原成銀元素。?

另一方面，已知用離子交換法將銀或銅向玻璃表層中導入后，使銀或銅的鹵化物的相析出，將其伸長，從而在玻璃制品的表層形成具有偏光分離功能的層的方法(參照專利文獻2)。?

專利文獻1：日本特開昭56-169140號公報?

專利文獻2：日本專利第4394355號公報?

發(fā)明內容

專利文獻1記載的制造方法中，在玻璃制品中同樣有鹵化物析出，而另一方面還原工序中只還原玻璃制品表層的鹵化物，所以在玻璃制品的厚度方向的中央部分殘留鹵化物。因此，偏光元件的透過率下降，在用于液晶顯示裝置等中時，有可能無法得到足夠的亮度。?

另一方面，根據(jù)專利文獻2記載的方法，則僅在玻璃制品的表層部導入銀或銅，所以能夠防止由未被還原而殘留的鹵化物所致的上述的不良情況。但是，由于需要將玻璃制品浸漬在高溫(350℃～750℃)的熔融鹽中長達8小時左右，所以環(huán)境負荷高。換言之，制造時的消耗能量非常多且生產率差。?

本發(fā)明是鑒于上述現(xiàn)有技術的問題點完成的，目的之一在于提供一種簡便地制造光學特性優(yōu)異的偏光元件的方法。?

本發(fā)明的偏光元件的制造方法的特征在于，具有以下工序：在玻璃基板上形成金屬鹵化物的島狀膜的工序；通過加熱拉伸上述玻璃基板而使上述島狀膜伸長，形成上述金屬鹵化物的針狀粒子的工序；及通過還原上述針狀粒子上述金屬鹵化物而形成由金屬構成的針狀金屬粒子的工序；并且，上述金屬鹵化物是利用反應性物理蒸鍍法堆積在上述玻璃基板上的。?

根據(jù)該制造方法，在玻璃基板的表面形成島狀膜，拉伸該島狀膜形成針狀粒子后，利用還原處理形成針狀金屬粒子，所以能夠可靠地對金屬鹵化物進行還原處理。因此，不會產生由金屬鹵化物的殘留所致的光學特性的下降。并且，由于使用薄膜形成工序在玻璃基板上形成金屬鹵化物的島狀膜，所以能夠以與利用離子交換在玻璃的表層導入金屬這樣的以往的工序相比顯著簡便的工序進行制造。因此，能夠使制造時的消耗能量極其變少，而且還能提高生產率。?

可以是如下的制造方法，即，形成上述島狀膜的工序具有以下工序：利用上述反應性物理蒸鍍法在上述玻璃基板上形成由上述金屬鹵化物構成的被膜的工序；和通過對上述被膜進行蝕刻處理而形成上述島狀膜?的工序。?

根據(jù)該制造方法，能夠獨立于形成被膜的工序選擇對被膜進行蝕刻處理時的條件，所以能夠容易地控制構成島狀膜的島狀粒子的配置密度，進而能夠容易地控制偏光元件的光學特性。?

上述蝕刻處理也可以為使用非活性氣體或反應性氣體的干式蝕刻處理的制造方法。?

根據(jù)該制造方法，能夠簡便地以高成品率形成金屬鹵化物的島狀膜。?

也可以是上述反應性物理蒸鍍法為使用由選自Au、Ag、Cu、Cd、Al中的1種或2種以上的金屬構成的靶和含鹵素氣體的工藝氣體的反應性濺射法的制造方法。?

根據(jù)該制造方法，能夠以高成品率快速將金屬鹵化物形成在玻璃基板上，所以能夠高效率制造偏光元件。?

附圖說明

圖1是表示實施方式的偏光元件的制造方法的圖。?

圖2是表示蝕刻工序后及拉伸工序后的玻璃基板表面的俯視圖。?

具體實施方式

以下，使用附圖對本發(fā)明的實施方式進行說明。?