[發(fā)明專利]一種不銹鋼儲液罐

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210041264.2
• 申請日: 2012-02-22
• 公開（公告）號: CN102582979A
• 公開（公告）日: 2012-07-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳海華;徐力;薛元;趙英鵬
• 申請（專利權(quán)）人: 上海至純潔凈系統(tǒng)科技股份有限公司
• 主分類號: B65D90/00
• 分類號: B65D90/00;B65D23/00;B65D88/74
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 逯長明

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及儲液罐領(lǐng)域，更具體的說，涉及一種方便清潔的不銹鋼儲液罐。

背景技術(shù)

在現(xiàn)在的光纖及半導(dǎo)體生產(chǎn)中，經(jīng)常會用到高純特種氣體，這些氣體通常具有腐蝕性、毒性或爆炸性，并且這些氣體在常溫常壓下是液體形態(tài)，在將這類液體原料輸送至反應(yīng)氣室時(shí)，需要用到一種儲液罐來容納。在生產(chǎn)時(shí)，儲液罐內(nèi)液體原料需轉(zhuǎn)化為氣態(tài)，并通過管道閥門輸送至反應(yīng)室，出于工藝需要及工作安全的考慮，儲液罐通常情況下會盡可能地靠近反應(yīng)室。并且在工作過程中，還需要有外部補(bǔ)料功能，即將液體原料由位于較遠(yuǎn)位置的大罐或槽車內(nèi)連續(xù)或間斷的輸送至該儲液罐內(nèi)。

請參考附圖1，在現(xiàn)有技術(shù)的儲液罐中，將儲液罐內(nèi)的液體原料汽化的方法一般有三種，具體如下：其一是將儲液罐作為鼓泡容器使用，使儲液罐保持一定的溫度，通過浸入液體原料底部的長管道進(jìn)出口3′通入經(jīng)精確控制計(jì)量的工藝氣體或惰性氣體，使其形成載氣氣泡，然后通過短管道進(jìn)出口4′輸送至反應(yīng)室；其二是將儲液罐作為蒸發(fā)器使用，將液體原料通過直接蒸發(fā)的方式轉(zhuǎn)化為氣態(tài)，即將儲液罐加熱至液體原料的沸點(diǎn)之上的某一個溫度，蒸發(fā)后的氣體在儲液罐上部空間聚集一定的飽和蒸汽，經(jīng)精確控制計(jì)量后將其輸送至反應(yīng)室；其三是將儲液罐作為液體儲液罐使用，將其保持在一個較低的溫度，在儲液罐短管道進(jìn)出口4′通入恒壓的工藝氣體或惰性氣體，將液體原料通過沉浸在液體原料底部的長管道進(jìn)出口3′推壓出儲液罐，將液體原料經(jīng)精確控制計(jì)量后輸送至閃蒸器，然后在高溫下直接轉(zhuǎn)化為氣態(tài)，最后輸送至反應(yīng)室。

上述三種汽化方法代表了儲液罐三種不同使用方法，雖然儲液罐的內(nèi)部結(jié)構(gòu)也會有稍有不同，但無論哪種汽化方法，在長時(shí)間使用、多次充灌液體原料并汽化后，液體原料受熱分解，液體原料與工藝氣體接觸發(fā)生微腐蝕等反應(yīng)而形成的雜質(zhì)，對儲液罐的內(nèi)壁，尤其是儲液罐頂部區(qū)域13′造成嚴(yán)重的污染，并且也會因液體原料蒸發(fā)提純留下的殘?jiān)瑢σ汗薜撞繀^(qū)域14′造成污染，這些污染都會對后續(xù)產(chǎn)品質(zhì)量造成比較嚴(yán)重的影響。這就要求必須定期對儲液罐進(jìn)行清潔，去除附著在儲液罐內(nèi)壁的污染物，以持續(xù)保障產(chǎn)品的高質(zhì)量生產(chǎn)。

在實(shí)際生產(chǎn)中，為了滿足工藝需求，在儲液罐主體1′上除具備最基本的介質(zhì)進(jìn)入口2′、長管道進(jìn)出口3′、短管道進(jìn)出口4′和排渣泄放管道5′等進(jìn)出管道外，還要設(shè)置液位傳感器保護(hù)管6′和液體溫度傳感器保護(hù)管10′和蒸汽溫度傳感器保護(hù)管11′，來記錄相關(guān)的氣相、液相的溫度計(jì)量、氣相壓力計(jì)量以及液相液位計(jì)量等參數(shù)。

在現(xiàn)有的儲液罐中，一般是在頂部開敞口或開清潔口，開口通過上法蘭7′和下法蘭9′對接，并且兩個法蘭中間通過O型密封圈8′來密封。鑒于上述氣體的高危險(xiǎn)性，就要求儲液罐必須有非常高的密封效果，所以如果在頂部開敞口，則需要O型密封圈過大，使密封面太廣，密封效果就會很差，即當(dāng)儲液罐內(nèi)工作壓力稍高時(shí)，就容易發(fā)生泄漏，所以不能滿足生產(chǎn)需要；若儲液罐頂部開較小的清潔口，則受清潔空間的位置限制和管道的復(fù)雜布置，而且根本無法看到儲液罐頂部區(qū)域13′，所以在擦拭起來只能進(jìn)行盲擦，憑著感覺進(jìn)行清潔工作，就勢必?zé)o法對儲液罐頂部區(qū)域13′進(jìn)行徹底有效地清潔。

因此，如何設(shè)計(jì)一種儲液罐，以實(shí)現(xiàn)很方便地清潔儲液罐頂部區(qū)域的發(fā)生的微反應(yīng)污染物，是目前本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的問題。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本發(fā)明提供了一種不銹鋼儲液罐，以克服現(xiàn)有技術(shù)中不銹鋼儲液罐在清潔儲液罐頂部區(qū)域的微反應(yīng)污染物非常困難的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

一種不銹鋼儲液罐，用于光纖及半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝，包括：

開設(shè)圓形開口于底部的主體；

對所述主體的圓形開口進(jìn)行密封的密封裝置；

分布在所述主體上的管道系統(tǒng)。

優(yōu)選的，在上述不銹鋼儲液罐中，所述密封裝置包括：

焊接于所述主體的圓形開口處的上法蘭；

通過螺桿和螺母與所述上法蘭相連接的下法蘭，所述下法蘭內(nèi)開設(shè)有凹槽；

設(shè)置于所述下法蘭的凹槽內(nèi)，并和上法蘭接觸的密封圈。

優(yōu)選的，在上述不銹鋼儲液罐中，所述密封圈為O型密封圈、C型密封圈或者E型密封圈。

優(yōu)選的，在上述不銹鋼儲液罐中，所述管道系統(tǒng)包括：

設(shè)置于所述下法蘭的外側(cè)面的排渣泄放管道；

設(shè)置于所述下法蘭的外側(cè)面或者主體的頂端的介質(zhì)進(jìn)入口；

設(shè)置于所述下法蘭的內(nèi)側(cè)面的液位傳感器保護(hù)管；

設(shè)置于所述主體的頂端的長管道進(jìn)出口；

設(shè)置于所述主體的頂端的短管道進(jìn)出口。