[發(fā)明專利]石英器件、石英器件的制造方法、壓電振動器、振蕩器、電子設(shè)備以及電波鐘

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210040354.X
• 申請日: 2012-02-14
• 公開（公告）號: CN102638241A
• 公開（公告）日: 2012-08-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 荒武潔
• 申請（專利權(quán)）人: 精工電子有限公司
• 主分類號: H03H9/02
• 分類號: H03H9/02;H03H9/19;H03H3/02;G04C9/02
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 何欣亭;王忠忠

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及石英(水晶)器件、石英器件的制造方法、壓電振動器、振蕩器、電子設(shè)備以及電波鐘。

背景技術(shù)

近年來，在便攜電話或便攜信息終端設(shè)備中，作為時刻源或控制信號等的定時源、參考信號源等，使用利用了石英等的壓電振動器(石英器件)。這種壓電振動器已知有很多種，但作為其中之一，已知有表面安裝(SMD)型的壓電振動器。

壓電振動器200例如如圖18、圖19所示，包括：由經(jīng)由接合材料207互相陽極接合的玻璃材料構(gòu)成的基底基板201及蓋基板202；以及被氣密密封于兩個基板201、202之間所形成的空腔C內(nèi)的壓電振動片(石英板)203。

上述的壓電振動片203經(jīng)由凸點211與形成于基底基板201上的電極圖案210接合，進一步經(jīng)由貫通基底基板201而形成的導(dǎo)電部件212，壓電振動片203與形成于基底基板201的外部電極213電連接。

另外，作為上述的電極圖案210的形成方法，一般而言使用光刻技術(shù)。具體而言，如專利文獻(xiàn)1、2所示，在基底基板201上形成電極膜后，涂布抗蝕劑膜，以覆蓋電極膜。然后，在相當(dāng)于電極圖案210的區(qū)域使用形成有遮光膜的光掩模，通過曝光、顯影，對抗蝕劑膜進行構(gòu)圖，形成沿著電極圖案210的外形形狀的抗蝕劑圖案。然后，通過將抗蝕劑圖案作為掩模對電極膜進行蝕刻，形成除了由抗蝕劑圖案所保護的區(qū)域以外的電極膜被選擇性去除的電極圖案210。

專利文獻(xiàn)1：日本特開平10-284966號公報

專利文獻(xiàn)2：日本特開2008-219606號

發(fā)明內(nèi)容

然而，在使用了上述的光刻技術(shù)的電極圖案210的形成方法中，存在的問題是：雖然能夠形成高精細(xì)的電極圖案210，但曝光、顯影、蝕刻等制造的工時數(shù)比較多，無法希望大幅提高制造效率。

因此，最近在探討形成電極圖案210時采用隔著掩模材料進行濺射的，所謂的掩模濺射法。掩模濺射法是將在相當(dāng)于電極圖案210的區(qū)域具有開口部的掩模材料(例如SUS等)，承載于成為基底基板201的圓片(wafer)上的狀態(tài)下進行濺射。據(jù)此，從靶飛出的成膜材料的粒子通過掩模材料的開口部并堆積在圓片上，從而能夠?qū)﹄姌O圖案210進行成膜。

然而，若采用上述的掩模濺射法，則存在的問題是：例如掩模材料會由于熱量而產(chǎn)生膨脹并彎曲，成膜材料的粒子會繞進形成于掩模材料與圓片之間的間隙，容易產(chǎn)生圖案模糊。特別存在的問題是：若圓片大面積化，則彎曲量會進一步變大，圖案模糊會進一步變大。

另外，在壓電振動器200的制造工序中，為了在電極圖案210上形成凸點211，需將電極圖案210的一部分形成作為對準(zhǔn)部215，構(gòu)圖成為在其他部分沒有的獨特的形狀。然后，利用圖像識別等來檢測對準(zhǔn)部215的位置，基于該檢測結(jié)果來進行凸點211的對準(zhǔn)。

然而，存在的問題是：若如上所述由于掩模濺射法在電極圖案210產(chǎn)生圖案模糊，則無法準(zhǔn)確檢測出對準(zhǔn)部215的位置，對準(zhǔn)精度會下降。結(jié)果存在的問題是：電極圖案210與凸點211會引起錯位。

因此，本發(fā)明是考慮到這樣的情況而完成的，其目的在于提供一種石英器件、石英器件的制造方法、壓電振動器、振蕩器、電子設(shè)備以及電波鐘，其能力圖削減制造工時數(shù)，并將電極圖案與凸點進行高精度定位。

為解決上述的問題、達(dá)到這樣的目的，本發(fā)明的石英器件包括：接合片，接合有多個圓片的圓片接合體在每個器件形成區(qū)域小片化而成；以及空腔，形成于所述接合片內(nèi)，能封入石英板，其特征在于，包括：電極圖案，形成于所述多個圓片中的第一圓片的所述器件形成區(qū)域上；以及凸點，用于將所述石英板安裝在所述電極圖案上，在所述第一圓片上，用于進行所述凸點的對位的對準(zhǔn)標(biāo)記與所述電極圖案分開形成。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過與電極圖案分開形成對準(zhǔn)標(biāo)記，與在與電極圖案一體形成對準(zhǔn)標(biāo)記(上述的對準(zhǔn)部215)的以往的結(jié)構(gòu)相比，即使是比較簡單的形狀，也容易識別對準(zhǔn)標(biāo)記的位置。即，例如在利用掩模濺射法來形成對準(zhǔn)標(biāo)記的情況下，即使在假設(shè)產(chǎn)生若干圖案模糊的情況下，也容易識別對準(zhǔn)標(biāo)記。

所以，能夠?qū)⒒趯?zhǔn)標(biāo)記的位置形成的凸點進行高精度定位。其結(jié)果是，能夠使石英板與電極圖案可靠地導(dǎo)通。

另外，其特征在于，所述對準(zhǔn)標(biāo)記在所述第一圓片的所述器件形成區(qū)域分別形成。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過在第一圓片的器件形成區(qū)域分別形成對準(zhǔn)標(biāo)記，能夠與各石英器件的電極圖案對應(yīng)地，進行更高精度的定位。

另外，其特征在于，所述對準(zhǔn)標(biāo)記至少形成2個以上。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過基于多個對準(zhǔn)標(biāo)記的位置來進行凸點的對準(zhǔn)，能夠進行更高精度的定位。