[發明專利]半導體背散射電子探測器

無效

• 申請號: 201210039367.5
• 申請日: 2012-02-21
• 公開（公告）號: CN102592932A
• 公開（公告）日: 2012-07-18
• 發明（設計）人: 陳芹純
• 申請（專利權）人: 南京特能電子有限公司
• 主分類號: H01J37/244
• 分類號: H01J37/244
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204
• 代理人: 柏尚春

1.一種半導體背散射電子探測器，其特征在于：包括襯板（1）、設置在所述襯板（1）上的四個長方形硅片（2,3,4,5）和電子束孔（6），四個長方形硅片（2,3,4,5）內分別設置有導線（8,9,10,11）并形成四個獨立的單元，四個長方形硅片（2,3,4,5）首尾相接圍成一個正方形區域（7），所述電子束孔（6）位于所述正方形區域（7）內。

2.如權利要求1所述的半導體背散射電子探測器，其特征在于，所述四個長方形硅片（2,3,4,5）的大小形狀相同，且所述四個長方形硅片（2,3,4,5）的長邊大于所述正方形區域（7）的邊長。

3.如權利要求2所述的半導體背散射電子探測器，其特征在于，所述電子束孔（6）的形狀為正方形。

4.如權利要求3所述的半導體背散射電子探測器，其特征在于，所述電子束孔（6）的四個邊與所述正方形區域（7）的四個邊分別平行。

5.如權利要求4所述的半導體背散射電子探測器，其特征在于，所述襯板（1）的形狀為正方形。

6.如權利要求5所述的半導體背散射電子探測器，其特征在于，所述電子束孔（6）的四個邊與所述襯板（1）的四個邊分別平行。

7.如權利要求1-6任一項所述的半導體背散射電子探測器，其特征在于，所述電子束孔（6）位于所述正方形區域（7）中部。

8.如權利要求1-6任一項所述的半導體背散射電子探測器，其特征在于，所述導線（8,9,10,11）位于所述長方形硅片（2,3,4,5）的短邊上。

9.如權利要求7所述的半導體背散射電子探測器，其特征在于，所述導線（8,9,10,11）位于所述長方形硅片（2,3,4,5）的短邊上。