[發(fā)明專利]夾持平面盤狀物的裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201210037911.2 | 申請(qǐng)日： | 2012-02-17 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN102569155A | 公開（公告）日： | 2012-07-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 吳儀;張豹;王波雷;張曉紅;王銳廷 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | H01L21/687 | 分類號(hào)： | H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京路浩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002 | 代理人： | 王瑩 |
| 地址： | 100016 北京市*** | 國(guó)省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 夾持 平面 盤狀物 裝置 | ||
1.一種夾持平面盤狀物的裝置，其特征在于，所述裝置包括：圓柱形的旋轉(zhuǎn)主體、兩組夾持元件、圓筒形的電磁鐵保持架、以及若干電磁鐵，每組夾持元件具有至少三個(gè)夾持元件，所述旋轉(zhuǎn)主體的側(cè)壁上設(shè)有與所述夾持元件個(gè)數(shù)相同的基座，所述兩組夾持元件通過所述基座安裝于所述旋轉(zhuǎn)主體的側(cè)壁上，所述兩組夾持元件通過旋轉(zhuǎn)軸與所述基座連接，所述電磁鐵保持架繞所述旋轉(zhuǎn)主體一周且內(nèi)徑與所述旋轉(zhuǎn)主體的半徑呈預(yù)設(shè)距離處，所述若干電磁鐵沿所述電磁鐵保持架徑向設(shè)于所述電磁鐵保持架的內(nèi)部，在所述夾持元件上設(shè)有磁性單元，每組夾持元件中各個(gè)夾持元件的磁性單元沿徑向的極性相同，所述兩組夾持元件之間的磁性單元沿徑向的極性相反，在所述基座上與所述夾持元件下部相對(duì)處設(shè)有張力單元，所述夾持元件能繞旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)。
2.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述張力單元為壓縮彈簧、且沿徑向設(shè)置。
3.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述磁性單元為沿徑向設(shè)置的永磁鐵。
4.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述基座上設(shè)有調(diào)整單元，用于調(diào)整所述夾持元件繞旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)的最大角度。
5.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)主體上表面設(shè)有至少三個(gè)晶片支撐。
6.如權(quán)利要求1～5中任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，所述夾持元件用于夾持平面盤狀物，所述平面盤狀物為晶片。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
