[發(fā)明專利]曝光裝置、移動體驅(qū)動系統(tǒng)、圖案形成裝置、以及曝光方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210035719.X
• 申請日: 2008-12-29
• 公開（公告）號: CN102540767A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 柴崎祐一
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社尼康
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F9/00
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會專利商標(biāo)事務(wù)所 11038
• 代理人: 李今子

1.一種移動體驅(qū)動系統(tǒng)，實(shí)質(zhì)沿既定平面驅(qū)動移動體，其具備：

編碼器系統(tǒng)，具有讀頭，此讀頭對具有在與上述既定平面平行的面內(nèi)以彼此正交的第1、第2方向?yàn)橹芷诜较虻?維光柵的標(biāo)尺照射檢測光，并接收來自上述標(biāo)尺的光，此編碼器系統(tǒng)根據(jù)上述讀頭的測量值，測量在包含上述第1、第2方向的上述既定平面內(nèi)的至少2自由度方向的上述移動體的位置信息；以及

驅(qū)動裝置，根據(jù)上述編碼器系統(tǒng)的測量信息，驅(qū)動上述移動體。

2.如權(quán)利要求1所述的移動體驅(qū)動系統(tǒng)，其中，上述標(biāo)尺與上述讀頭的一方被配置于上述移動體，且另一方被配置成能與上述移動體對向。

3.如權(quán)利要求2所述的移動體驅(qū)動系統(tǒng)，其中，上述標(biāo)尺配置在與上述既定平面實(shí)質(zhì)平行的上述移動體的一面，上述讀頭以能與上述標(biāo)尺對向地配置在上述移動體的外部。

4.如權(quán)利要求3所述的移動體驅(qū)動系統(tǒng)，其中，上述標(biāo)尺以上述第1方向?yàn)殚L邊方向配置在上述移動體的上述一面；

上述編碼器系統(tǒng)具有讀頭單元，此讀頭單元包含配置在于上述第2方向檢測點(diǎn)不同的位置的多個上述讀頭；

上述多個讀頭，包含于上述第2方向、以比上述標(biāo)尺寬度窄的間隔設(shè)定有上述檢測點(diǎn)的讀頭。

5.如權(quán)利要求4所述的移動體驅(qū)動系統(tǒng)，其中，上述標(biāo)尺在上述移動體的上述一面、于上述第2方向分離配置有一對；

上述編碼器系統(tǒng)根據(jù)同時對向于上述一對標(biāo)尺的上述讀頭單元的2個讀頭的輸出，測量上述移動體在上述既定平面內(nèi)的3自由度方向的位置信息。

6.如權(quán)利要求5所述的移動體驅(qū)動系統(tǒng)，其中，上述編碼器系統(tǒng)具有在上述第2方向分離配置、且能與上述一對標(biāo)尺分別對向至少1個讀頭的一對上述讀頭單元。

7.如權(quán)利要求2所述的移動體驅(qū)動系統(tǒng)，其中，上述讀頭被配置于上述移動體，上述標(biāo)尺被配置成能與上述移動體對向。

8.如權(quán)利要求7所述的移動體驅(qū)動系統(tǒng)，其中，上述讀頭于上述第1方向被配置在上述移動體的不同位置，上述標(biāo)尺被配置成以上述第2方向?yàn)殚L邊方向。

9.如權(quán)利要求8所述的移動體驅(qū)動系統(tǒng)，其中，上述讀頭于上述第2方向在上述移動體兩側(cè)、分別配置在于上述第1方向的不同位置。

10.如權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的移動體驅(qū)動系統(tǒng)，其中，上述驅(qū)動裝置根據(jù)上述編碼器系統(tǒng)的測量信息、以及對應(yīng)該測量時上述移動體在與上述第1、第2方向不同方向的位置信息的修正信息，沿上述既定平面驅(qū)動上述移動體。

11.如權(quán)利要求10所述的移動體驅(qū)動系統(tǒng)，其中，上述移動體在與上述第1、第2方向不同方向的位置信息，包含上述移動體在與上述既定平面正交的方向、在與上述既定平面平行的面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)方向、繞與上述第1方向平行的軸的旋轉(zhuǎn)方向、以及繞與上述第2方向平行的軸的旋轉(zhuǎn)方向中的至少一方向的位置信息。

12.如權(quán)利要求1至11中任一項(xiàng)所述的移動體驅(qū)動系統(tǒng)，其中，上述驅(qū)動裝置根據(jù)為上述編碼器系統(tǒng)的測量誤差發(fā)生原因的、用于測量的上述讀頭的特性信息，來驅(qū)動上述移動體。

13.如權(quán)利要求12所述的移動體驅(qū)動系統(tǒng)，其中，上述特性信息包含上述讀頭的光學(xué)特性。

14.如權(quán)利要求1至13中任一項(xiàng)所述的移動體驅(qū)動系統(tǒng)，其中，上述驅(qū)動裝置以補(bǔ)償因用于測量的上述讀頭而產(chǎn)生的上述編碼器系統(tǒng)的測量誤差的方式，在上述既定平面內(nèi)驅(qū)動上述移動體。

15.如權(quán)利要求1至14中任一項(xiàng)所述的移動體驅(qū)動系統(tǒng)，其中，上述驅(qū)動裝置進(jìn)一步根據(jù)關(guān)于上述標(biāo)尺平面度的信息，驅(qū)動上述移動體。

16.如權(quán)利要求1至15中任一項(xiàng)所述的移動體驅(qū)動系統(tǒng)，其中，上述驅(qū)動裝置進(jìn)一步根據(jù)用于測量的上述讀頭的檢測點(diǎn)的位置信息，驅(qū)動上述移動體。

17.如權(quán)利要求16所述的移動體驅(qū)動系統(tǒng)，其中，上述驅(qū)動裝置以補(bǔ)償因上述檢測點(diǎn)的位置或位移而產(chǎn)生的上述編碼器系統(tǒng)的測量誤差的方式，驅(qū)動上述移動體。

18.如權(quán)利要求1至17中任一項(xiàng)所述的移動體驅(qū)動系統(tǒng)，其中，上述驅(qū)動裝置進(jìn)一步根據(jù)作為上述移動體在與上述既定平面正交的第3方向的位置基準(zhǔn)的基準(zhǔn)面、以及上述標(biāo)尺的光柵面在上述第3方向的位置信息，驅(qū)動上述移動體。